[发明专利]脆材基板划刻器、处理机械、抛光装置及划刻和断开系统

说明书

本申请是国际申请日为2003年1月15日、名称为“脆性材料基板的划刻器、脆性材料基板的处理机械、脆性材料基板的抛光装置以及脆性材料基板的划刻和断开系统”、国家申请号为03806208.9(国际申请号为PCT/JP03/00296)的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种用于对脆性材料基板进行划刻的脆性材料基板划刻器，和一种用于对脆性材料基板的各个端面进行抛光的脆性材料抛光设备。还有，本发明涉及一种用于对脆性材料基板进行划刻和断开操作的脆性材料基板划刻和断开系统，和一种用于对脆性材料基板进行划刻和断开操作并且此后对该脆性材料基板的各个端面进行抛光的脆性材料基板划刻和断开系统。

背景技术

在此定义，“脆性材料基板”包括玻璃基板、半导体基板、陶瓷基板以及类似物。“脆性材料基板”还包括通过将两个脆性材料基板粘结在一起而获得的粘结脆性材料基板。

“粘结脆性材料基板”包括通过将两个玻璃基板粘结在一起而获得的平板显示器，比如液晶显示板、等离子显示器、有机EL显示板或者类似装置，通过将半导体基板与玻璃基板粘结在一起而获得的投射基板，以及类似装置。在下文中，将对液晶显示板进行图示和说明。

液晶显示板被广泛应用在液晶个人计算机、液晶电视、移动电话或者类似设备中。还有，液晶显示板会在未来被用作电子纸。

在这种液晶显示板的生产工艺中，制造出一块玻璃母基板，在其上的大量区域中的各个区域内形成有矩阵状导体图案。此后，一种密封材料被涂敷在玻璃母基板上，来环绕在形成于各个区域内的导体图案的周围。接下来，涂敷有所述密封材料的玻璃母基板与另外一个玻璃母基板粘结起来。

在一对玻璃母基板被粘结在一起之后，在各个其上已经形成有导体图案的区域之间，利用一个玻璃划刻器对这对玻璃母基板中之一进行划刻。此后，利用一个倒转机构将划刻后的这对玻璃母基板倒转。沿着一条利用玻璃划刻器形成的划刻线，一个断开机构向这对倒置后的玻璃母基板的表面上施加一个压力，其中所述表面与已经被划刻的表面相对，由此使得这对玻璃母基板断裂成液晶显示板。一个玻璃基板抛光设备对分离开的液晶显示板的各个端面边缘进行抛光。此后，液晶被注射入分离开的液晶显示板内。

所述玻璃划刻器利用一个桥跨机构或者一个传送机构对玻璃母基板进行划刻。桥跨机构使得一个刀具支撑机构相对于玻璃母基板发生移动，从而使得用于对所述玻璃母基板进行划刻的刀具的刀锋位于一条用于所述玻璃母基板的预定刻线上。传送机构使得玻璃母基板相对于刀具的刀锋发生移动，从而使得一条用于所述玻璃母基板的预定划刻线位于刀具的刀锋下方。

所述桥跨机构包括第一轨道和第二轨道，它们被平行地设置于一个工作台的两侧上，玻璃母基板被置于所述工作台上。第一轨道和第二轨道分别与第一支撑立柱和第二支撑立柱相配合。一个横跨所述工作台设置的导杆被连接在第一支撑立柱和第二支撑立柱上。该导杆具有一个划刻线部分，该划刻线部分被设置成使得其能够沿着一个垂直于第一轨道和第二轨道的方向自由地往复运动。所述划刻线部分对置于工作台上的玻璃母基板进行划刻。所述桥跨机构带有一个马达，用于促使第一支撑立柱和第二支撑立柱分别沿着第一轨道和第二轨道往复运动。所述马达被连接在一个用于对该马达进行控制的驱动器上。该驱动器被连接在一个用于同步控制该驱动器的控制器上。

在如此构建的桥跨机构中，当所述控制器发出一个用以启动驱动器的控制信号时，所述驱动器按照从控制器发出的控制信号驱动所述马达。受到驱动的马达使得第一支撑立柱和第二支撑立柱进行往复运动，从而使得设置在所述导杆上的划刻线部分被移动至这样一个位置上，即该位置对应于置于所述工作台上的玻璃母基板上的预定划刻线，其中所述第一支撑立柱和第二支撑立柱分别与第一轨道和第二轨道相配合。已经移动到对应于所述预定划刻线的位置上的划刻部分，对玻璃母基板进行划刻。

所述玻璃划刻器沿着相互垂直的预期划刻线对玻璃母基板进行划刻，其中所述预期划刻线已经在玻璃母基板上先行建立。所述玻璃划刻器沿着一个预定方向对设于旋转工作台上的玻璃母基板进行划刻，其中所述旋转工作台可旋转地设置。此后，利用一个沿着旋转轴设置的控制驱动伺服马达将所述旋转工作台旋转90度，并且沿着一个预定方向对设于所述旋转工作台上的玻璃母基板进行划刻。以这种方式，所述玻璃划刻器在玻璃母基板上形成了相互垂直的划刻线。

利用划刻器划刻后的前述玻璃母基板被利用所述断开机构分离成液晶显示板。此后，通过一个液晶注射步骤、液晶密封步骤以及类似步骤，将液晶注射到各个液晶显示板内并且将其注射开口密封起来。