[发明专利]位置测量装置有效
申请号: | 200810215245.0 | 申请日: | 2008-09-22 |
公开(公告)号: | CN101393020A | 公开(公告)日: | 2009-03-25 |
发明(设计)人: | E·迈耶;J·奥伯豪瑟 | 申请(专利权)人: | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01D5/249 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 曹 若 |
地址: | 德国特劳*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 位置 测量 装置 | ||
1.位置测量装置,具有
-代码(C),它由一列在测量方向X上依次布置的代码元素(C 1, C2,C3)组成,其中多个相互紧随的代码元素(C1,C2,C3)分别构 成了具有绝对位置信息的代码字(CW),
-扫描装置(AE),它具有带多个探测元件(D1-D11)的探测单 元(D),用于扫描分别形成代码字(CW)的代码元素(C1,C2,C3) 并用于构成分别在代码元素(C1,C2,C3)之一之内的至少一个扫描 信号(S1A-S3B),
-具有评估装置(T1-T12)的分析处理单元(AW),其中分别给 评估装置(T1-T12)之一输送代码元素(C1,C2,C3)的所述至少一 个扫描信号(S1A-S3B),并用分析处理单元借助于至少一个参考值(+V, -V)可以形成用于对应的代码元素(C1,C2,C3)的信息(B1,B2, B3,F),
其特征在于至少一个匹配装置(R)用于根据代码元素(C1,C2, C3)的其中至少一个扫描信号(S1A-S3B)来确定参考值(+V,-V)。
2.按权利要求1所述的位置测量装置,其特征在于,所述代码元素 (C1,C2,C3)具有设计成相互互补的特性,而且设计和布置代码元 素(C1,C2,C3),从而分别至少在获得参考值(+V,-V)的扫描范 围的长度上有所述设计成相互互补的特性之间的至少近似相同的比例 关系。
3.按权利要求1或2所述的位置测量装置,其特征在于,
-每个代码元素(C1,C2,C3)由两个部分范围(C1A,C1B;C2A, C2B;C3A,C3B)组成,所述部分范围相互互补;
-所述探测单元(D)设计用于扫描多个代码元素(C1,C2,C3) 并用于在所扫描的代码元素(C1,C2,C3)的每一个部分范围(C1A, C1B;C2A,C2B;C3A,C3B)之内形成至少一个扫描信号(S1A-S3B);
-分别给评估装置(T1-T12)输入代码元素(C1,C2,C3)的部 分范围(C1A,C1B;C2A,C2B;C3A,C3B)的扫描信号(SA1-S3B), 其中用所述评估装置(T1-T12)可以检查,分别由代码元素(C1,C2, C3)的部分范围(C1A,C1B;C2A,C2B;C3A,C3B)的扫描信号(S) 得出的比较结果是位于所述至少一个参考值(+V,-V)之上还是之下, 并且用该评估装置可以据此形成对应的代码元素(C1,C2,C3)的信 息(B1,B2,B3,F)。
4.按权利要求3所述的位置测量装置,其特征在于,设置所述评估 装置(T1-T2)用于形成代码元素(C1,C2,C3)的两个部分范围(C1A, C1B;C2A,C2B;C3A,C3B)的扫描信号(S1A-S3B)的差。
5.按权利要求3所述的位置测量装置,其特征在于,所述评估装置 (T1-T2)设计用于输出错误信号(F)作为信息,如果代码元素(C1, C2,C3)的部分范围(C1A,C1B;C2A,C2B;C3A,C3B)的扫描信 号(S1A-S3B)的差值位于由所述至少一个参考值(+V,-V)所规定的 范围之内的话。
6.按权利要求3所述的位置测量装置,其特征在于,代码元素(C1, C2,C3)的两个部分范围(C1A,C1B;C2A,C2B;C3A,C3B)具有 相互互补的光学特性。
7.按权利要求3所述的位置测量装置,其特征在于,所述参考值 (+V,-V)与多个代码元素(C1,C2,C3)的扫描信号(S1A-S3B) 之和成比例。
8.按权利要求7所述的位置测量装置,其特征在于,给所述匹配装 置(R)至少输入相互紧随的构成代码字(CW)的代码元素(C1,C2, C3)的扫描信号(S1A-S3B),而且参考值(+V,-V)与所述扫描信号 (S1A-S3B)的信号幅值的总和成比例。
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