[发明专利]具有多层电极的微加工声换能器

权利要求书

1.用于在电能和声能之间转换的膜(14)超声换能器，所述换能器包括：

衬底(12)；

被支撑在衬底(12)上的膜(14)，空穴(16)将膜(14)与衬底(12)分离；

第一电极和第二电极(18，20)，所述第一电极(18)与第二电极(20)相比在空穴(16)的相对侧；和

将第一电极(18)从空穴(16)分离的第一绝缘层(28，14)；

其中第一电极(18)包括至少两个导电的或者半导电的电极层(22，24)，所述电极层(22，24)彼此欧姆接触。

2.权利要求1的换能器，其中第一绝缘层(28，14)包括膜(14)。

3.权利要求1的换能器，其中第一绝缘层(28，14)在空穴(16)的与膜(14)相对的侧。

4.权利要求3的换能器还包括：

包括膜(14)的第二绝缘层(28，14)；

其中第二电极(20)包括至少两个导电的或者半导电的电极层(22，24)，所述电极层(22，24)彼此欧姆接触。

5.权利要求1的换能器，其中至少两个电极层(22，24)包括第一层(24)和第二层(22)，所述第一层(24)主要在所述绝缘层(28，14)邻近于具有高电场的空穴(16)的这些区域内与绝缘层(28，14)接触并且比第二层(22)具有较高的功函数。

6.权利要求1的换能器，其中至少两个电极层(22，24)包括第一层(24)和第二层(22)，所述第一层(24)接触绝缘层(28，14)并且比第二层(22)具有较高的电阻率。

7.权利要求6的换能器，其中第一层(24)具有大于或者等于4.5eV的功函数，并且第二层(22)具有等于或者小于3e^-8Ohm-cm的电阻率，第二层(22)比第一层(24)具有较低的功函数。

8.权利要求6的换能器，其中第一层(24)具有大于400兆帕斯卡拉伸的标称应力，并且第二层(22)的标称应力小于或者等于第一层(24)的标称应力。

9.权利要求1的换能器，其中至少两个电极层(22，24)包括第一层(24)和第二层(22)，所述第一层(24)包含钨、钨合金、铬、镍、钴、铍、金、铂、钯或者是具有其一种或者多种的材料，第二层(22)包含铝、铝合金、多晶硅、铜或者是具有其一种或者多种的材料。

10.权利要求1的换能器，其中至少两个电极层(22，24)包括第一层(24)和第二层(22)，所述第一层(24)主要在邻近于具有高电场的空穴(16)的区域中与绝缘层(28，14)接触，并且第二层(22)在所述区域中主要与绝缘层(28，14)不接触。

11.权利要求1的换能器，其中至少两个电极层(22，24)包括第一层(24)和第二层(22)，所述第一层(24)主要与绝缘层(28，14)接触并且具有小于或者等于第二层(22)的第二厚度的第一厚度。

12.用于形成电容式膜(14)超声换能器的方法，此方法包括：

(a)在空隙(16)上方形成(46)柔性结构；并且

(b)在空隙(16)的相对侧形成(42)电极(18，20)，第一电极(18)邻近所述柔性结构，其中形成所述电极(18，20)的至少一个电极包括将邻近绝缘层的至少两个不同的导体分层。

13.权利要求12的方法，其中所述至少两个不同的导体中的第一导体比所述至少两个不同的导体中的第二导体具有较低的电阻率，所述第二导体在与空隙(16)相邻的区域中将第一导体与绝缘层分离，第二导体在导体绝缘体界面处比第一导体具有较高的功函数。

14.权利要求12的方法，其中绝缘层是柔性结构，绝缘层将至少两个不同的导体与空隙(16)分离；并且

其中形成(42)电极(18，20)包括形成两个电极(18，20)，每个具有至少两个不同的导体。