[发明专利]保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位置检测装置

权利要求书

1.一种检测被保持在卡盘工作台上的被加工物的上表面高度位置 的高度位置检测装置，其特征在于，该被保持在卡盘工作台上的被加工 物的高度位置检测装置具有：

激励激光光束的激光光束激励单元；

环状光斑形成单元，其使由该激光光束激励单元激励出的激光光束 的光斑形状形成为环状；

光束分离器，其沿第1路径引导通过该环状光斑形成单元使光斑形 状形成为环状的激光光束；

聚光器，其对沿该第1路径引导的激光光束进行聚光，并照射保持 在卡盘工作台上的被加工物；

针孔遮光器，其设置于第2路径上，该第2路径是在由卡盘工作台 所保持的被加工物上反射的激光光束被该光束分离器分割而形成的；

圆锥反射镜，其把通过该针孔遮光器的、光斑形状为环状的反射光 转换为线状的光斑形状；

位置检测器，其检测被该圆锥反射镜转换为线状光斑形状的反射光 的位置；以及

控制单元，其根据由该位置检测器检测出的反射光的位置，求出被 保持在卡盘工作台上的被加工物的上表面高度位置。

2.根据权利要求1所述的保持在卡盘工作台上的被加工物的高度位 置检测装置，其特征在于，该环状光斑形成单元由沿着激光光束保持预 定间隔地串联设置的一对圆锥透镜构成。