[发明专利]石英玻璃坩埚的制造方法

权利要求书

1.石英玻璃坩埚的制造方法，其是一边对充填于旋转模具中的石英粉成形 体进行抽真空一边进行电弧熔融而制造石英玻璃坩埚的方法，其特征在于，在 电弧熔融开始或电弧熔融中使电极相对于模具中心线相对地从模具中心线上向 侧方移动，在偏心位置进行电弧熔融。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，进行使电极在 模具中心线上进行电弧熔融的整体加热、和使电极在模具中心线外的偏心位置 进行电弧熔融的局部加热。

3.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，整体加热的时 间为电弧熔融总时间的60％以下。

4.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，在局部加热中， 保持电极前端中心与石英粉成形体的加热部位的距离L2为从模具中心线至所 述加热部位的距离L1的5～80％进行加热熔融。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中， 将与多个电极前端相接的外接圆的面积设为710cm²以下，对该外接圆的圆内整 体进行电弧加热。

6.根据权利要求5所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，电极中心间的 距离为2cm～15cm。

7.石英玻璃坩埚，其是通过权利要求1～6中任一项所述的方法制造的， 其特征在于，弯曲部内面的曲率W2为弯曲部外面的曲率W1的0.8～1.2倍。

8.石英玻璃坩埚，其是通过权利要求1～6中任一项所述的方法制造的坩 埚，其中，在距坩埚整体的内表面1.0mm的厚度范围，0.5mm以上的内部气泡 在整个弯曲部为5个以下。

9.石英玻璃坩埚的制造装置，其中，电弧电极和旋转模具的至少任一个具 有向侧方移动的装置，电弧电极相对于旋转模具的相对位置可以是从模具中心 线上向侧方偏心的。