[发明专利]电容式麦克风

说明书

技术领域

本发明涉及一种电容式麦克风，尤其涉及一种微电机系统麦克风。 

背景技术

随着无线通讯的发展，全球移动电话用户越来越多，用户对移动电话的要求已不仅满足于通话，而且要能够提供高质量的通话效果，尤其是目前移动多媒体技术的发展，移动电话的通话质量更显重要，移动电话的麦克风作为移动电话的语音拾取装置，其设计好坏直接影响通话质量。 

而目前应用较多且性能较好的麦克风是微电机系统麦克风(Micro-Electro-Mechanical-System Microphone，简称MEMS麦克风)，如图1所示，为一种与本发明相关的麦克风剖断示意图。该麦克风10包括背板11、与背板11相对并通过支撑部121相连接的振膜12，振膜12可相对背板11上下振动，背板11另设有声孔111，该声孔111可将声音气流传递到振膜12上并引起振膜12振动，振膜12与背板11之间形成了声腔13；振膜12与背板11上分别设有导电层并可加电，但加电的部分相互绝缘，这样，振膜12与背板11就组成了具有电容的电容器。但由于电容的值与电容两个板之间的正对面积成正比，与电容两个板之间的距离成反比，此种结构的麦克风振膜12振动变形受电场力干扰变形较大，导致振膜12与背板11之间的距离呈曲线变化，所以此种结构的电容式麦克风其线性度较差，所以麦克风的灵敏度差、频响度差，噪音大。 

发明内容

本发明的要解决的技术问题在于提供一种具有良好灵敏度、频响度和噪音小的电容式麦克风。 

为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案为： 

一种电容式麦克风，包括：

基底，一空腔穿过该基底； 

定支撑，与基底相连并位于所述空腔中，该定支撑包括远离基底的第一平面和靠近基底的第二平面，一收容部贯穿定支撑的第一平面和第二平面； 

振膜，与定支撑相连并收容于所述定支撑的收容部，振膜包括远离定支撑的第三平面和靠近定支撑的第四平面；其中 

定支撑包括固定部和由固定部向定支撑的中心突出的若干定电极，该定电极包括靠近振膜的第一顶面、靠近基底的第一底面和第一顶面和第一底面间的第一厚度； 

振膜包括振动部和与振动部相连的支撑部，振动部设置有若干由振动部向远离振膜中心突出的动电极，该动电极包括远离定支撑的第二顶面、靠近定支撑的第二底面和第二顶面和第二底面间的第二厚度； 

所述定电极和所述动电极均为梳齿状排布，定电极与动电极在空间上分离并且定电极与动电极相互交叉； 

基底上设有用于放置振膜支撑部的连接部，定支撑相应位置设置有振膜支撑部的让位，所述连接部表面为绝缘层； 

定支撑的固定部上设有用于给所述定电极通电的定电极引出端； 

振膜的支撑部上设置有用于给所述动电极通电的动电极引出端。 

优选的，所述定电极的第一厚度和所述动电极的第二厚度相同。 

优选的，所述定电极的第一顶面和所述动电极的第一顶面共面；所述振膜的支撑部远离定支撑的平面和所述动电极引出端共面；所述定支撑远离基底的第一平面与振膜远离定支撑的第三平面共面。 

优选的，所述定电极的第一顶面、所述动电极的第一顶面、所述振膜的支撑部远离定支撑的平面、所述动电极引出端、所述定支撑远离基底的第一平面和振膜远离定支撑的第三平面共面。 

优选的，所述振膜的支撑部为若干等分所述振膜的悬臂，悬臂的一端固定在振膜上，另一端突出于振膜的周侧，所述悬臂指向振膜的中心。 

优选的，所述悬臂有4个。 

优选的，用于给所述动电极通电的动电极引出端设置在悬臂上。 

优选的，所述振膜的形状是关于中心对称的图形。 

优选的，所述振膜的形状为圆形或正方形。 

优选的，所述定支撑为与所述振膜的形状相匹配的关于中心对称的图形。