[发明专利]激光刻线除尘装置及操作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种清理收集粉尘用的除尘装置，尤其涉及一种在用激光发生器对非晶硅太阳能板刻线时进行除尘用的激光刻线除尘装置。

背景技术

在太阳能板制备过程中，尤其是非晶硅太阳能电池板制备过程中每一次的蒸镀(或溅镀，或覆膜)都需要用激光发生器对其进行激光刻线，刻线后如不清理刻线过程中产生的粉尘，则粉尘将沉积在刻线槽及板上，在下一次蒸镀(或溅镀，或覆膜)过程中上述这些粉尘将被覆盖，从而造成板上布局的线路发生短路；同时沉积在玻璃表面的粉尘也将影响下一次蒸镀过程中的薄膜厚度和均匀度，进而降低整块板的光电转换率。

目前应用于对激光刻线中产生的粉尘进行收集的方式主要有三种，第一种为大功率抽风机封闭环境引流方法，即将激光刻线工作平台用外罩封闭，利用安装在刻线非晶硅太阳能板两侧或其上方的大功率抽风机将封闭空间的气流引出，使粉尘随气流被抽风机抽出封闭空间；第二种为全覆盖式集风箱除尘方法，即是在刻线非晶硅太阳能板上方安装一个漏斗形或梯形的集风箱，再设置一抽风机与集风箱连通，上述集风箱的箱体完全罩住非晶硅太阳能板，利用抽风机将粉尘吸进集风箱中；第三种是采用静电除尘方法，目前主流的静电除尘技术原理是基于高压电场可使粉尘发生电离，静电除尘器具有正、负两电极，负极由不同断面形状的金属导线制成，叫放电电极；正极由不同几何形状的金属板制成，叫集尘电极；放电电极释放出电子使空气中的粉尘带电，而集尘电极带有正电场将带电粉尘吸引到金属板上，利用此原理，使气流中的粉尘荷电在电场作用下与气流分离，从而达到除尘目的。

利用上述第一种大功率抽风机封闭环境引流方法对刻线过程中产生的粉尘进行收集处理，对于小面积非晶硅太阳能板表面薄膜及低速刻线具有一定的功效，然而对于如非晶硅薄膜太阳能板薄膜基片为1100毫米×1400毫米的大面积玻璃刻线时的粉尘就无法完全吸除，导致除尘效率低，一方面，很难形成大的封闭空间进而产生足够的引出气流；另一方面，必须引入的大功率抽风机才能实现除尘的功能，而大功率抽风机会造成较大的噪声污染和能耗增加，同时封闭的空间不易于刻线散热，长时间的高温环境会加速布线的老化以及使电机寿命缩短，致使成本增加和构成安全隐患。

利用上述第二种全覆盖式集风箱除尘方法，由于风向入口面积大使其整个面积内气流不均匀，造成局部粉尘清理不走，同样需要引入大功率抽风机；并且，无论是利用大功率抽风机封闭环境引流方式除尘，还是采用全覆盖式集风箱除尘式除尘方法都只能对刻线空间内的粉尘进行吸除，而对于因带有静电而吸附于薄膜表面和线槽中的粉尘则无法吸除，造成除尘不完全，导致除尘效率低。

利用上述第三种静电除尘方法虽然可以有效吸除粉尘，但是，静电除尘方法的性能受粉尘性质、设备构造和粉尘流速等三个因素的影响。采用静电除尘的方法与其他除尘方法相比，虽然耗能少，除尘效率高，然而如果利用此法进行除尘处理，将大大增加设备投入成本，并且还需根据所产生的粉尘的性质，对设备进行适应性的改进，结构复杂且不易操作。

因此，需要一种成本低、除尘效率高、噪声低且耗能少的激光刻线除尘装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种成本低、除尘效率高、噪声低且耗能少的激光刻线除尘装置。

本发明的另一目的在于提供一种成本低、除尘效率高、噪声低且耗能少的激光刻线除尘装置的操作方法。

为了实现上述目的，本发明提供一种激光刻线除尘装置，适用于激光发生器对非晶硅太阳能板刻线时进行除尘，所述激光刻线除尘装置包括吸尘装置及抽风装置，所述吸尘装置与所述抽风装置相连通，其中，所述吸尘装置包括抽风机、集风箱及滤尘网，所述抽风装置包括抽风箱及连接于其外侧的静电消除棒，所述抽风箱具有抽风箱进风口及抽风箱出风口，所述抽风箱出风口与所述吸尘装置的集风箱一端连通，所述集风箱另一端与所述抽风机连通，所述滤尘网安装于所述集风箱内，所述抽风箱进风口覆盖于所述非晶硅太阳能板刻线轨迹的正上方。

较佳地，所述静电消除棒上端连接于所述抽风箱外侧上，下端沿所述抽风箱进风口方向延伸并超过所述抽风箱进风口；方便于将刻线产生的带有静电的粉尘在通过静电消除棒消除静电的同时，能直接被吸尘装置产生的气流从抽风箱进风口吸入。

较佳地，所述抽风装置还包括外延支架，所述外延支架连接于所述抽风箱与所述静电消除棒之间；有效的增加了静电消除棒与粉尘的接触空间，从而使得静电消除棒对具有静电的粉尘消除静电的效率加快。

较佳地，所述抽风箱呈梯形，所述抽风箱进风口小于所述抽风箱出风口；增加了抽风箱在吸尘装置的作用下的吸尘能力。