[发明专利]振幅型波带片光子筛无效
申请号: | 200810223352.8 | 申请日: | 2008-09-26 |
公开(公告)号: | CN101398493A | 公开(公告)日: | 2009-04-01 |
发明(设计)人: | 贾佳;谢长青;刘明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00;G02B5/18;G02B27/44 |
代理公司: | 北京市德权律师事务所 | 代理人: | 王建国 |
地址: | 100029北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振幅 波带片 光子 | ||
1、一种振幅型波带片光子筛,所述振幅型波动片上包括菲涅耳波带片环带,其特征在于,在所述菲涅耳波带片环带的外围设置有光子筛圆孔环带,即根据菲涅耳波带片的设计参数,将所述菲涅耳波带片的外围环带替换为光子筛圆孔环带;所述光子筛圆孔的直径为所被替代的所述菲涅耳波带片环带宽度的1.5倍;所述光子筛最外环圆孔的直径与所述菲涅耳波带片最外围环带的宽度一致。
2、根据权利要求1所述的振幅型波带片光子筛,其特征在于,所述菲涅耳波带片为振幅型。
3、根据权利要求1所述的振幅型波带片光子筛,其特征在于,所述振幅型波带片光子筛由透明介质制成。
4、根据权利要求1所述的振幅型波带片光子筛,其特征在于,所述菲涅耳波带片最外环环带的宽度大于或等于现有加工工艺能力的最小线宽。
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