[发明专利]回热器及其制造方法

权利要求书

1.一种回热器，其特征在于，包括多个定位叠加的腐蚀板，所述腐蚀板 上设置有用于形成规则的气体流道的多个微孔。

2.根据权利要求1所述的回热器，其特征在于，所述腐蚀板还设置有定 位孔，通过定位销穿通所述定位孔将多个腐蚀板定位叠加。

3.根据权利要求1所述的回热器，其特征在于，所述微孔为长方形孔、 且平行分布于所述腐蚀板上。

4.根据权利要求3所述的回热器，其特征在于，各个所述微孔沿平行方 向被隔断为数段，所有微孔沿垂直方向上同一位置的隔断处形成一条加强筋。

5.根据权利要求3或4所述的回热器，其特征在于，所述微孔间的间隔 相等。

6.根据权利要求5所述的回热器，其特征在于，所述微孔的宽度为5微 米～500微米。

7.根据权利要求1所述的回热器，其特征在于，所述微孔为圆形孔，且 规则分布于所述腐蚀板上。

8.根据权利要求7所述的回热器，其特征在于，所述微孔的直径为5微 米～500微米。

9.一种回热器的制造方法，其特征在于，包括：

步骤1、通过激光光绘工艺在光绘胶片上形成微孔图案，将形成有微孔 图案的光绘胶片经过显影和定影工艺制成光绘菲林；

步骤2、在待腐蚀板上涂覆光阻剂，并将所述光绘菲林贴附于涂覆有光 阻剂的待腐蚀板上，经过曝光和显影工艺去除待腐蚀板上对应于微孔图案处 的光阻剂；

步骤3、将完成步骤2的待腐蚀板放入刻蚀液中进行刻蚀，将待腐蚀板 上去除了光阻剂的部分刻蚀掉，形成多个微孔；

步骤4、将完成步骤3的待腐蚀板放入光阻剂去除溶液中，去除未曝光 的光阻剂，形成腐蚀板；

步骤5、将多个所述腐蚀板定位叠加。

10.根据权利要求9所述的制造方法，其特征在于，所述微孔为长方形 孔、且平行分布于所述腐蚀板上。

11.根据权利要求10所述的制造方法，其特征在于，所述微孔图案包括 用于形成加强筋的加强筋区域，所述加强筋为各个所述微孔沿平行方向被隔 断为数段、所有微孔沿垂直方向上同一位置的隔断处形成；则步骤2中经过 曝光和显影工艺去除待腐蚀板上对应于微孔图案处的光阻剂具体为经过曝光 和显影工艺去除待腐蚀板上对应于微孔图案处加强筋区域以外的光阻剂。

12.根据权利要求9所述的制造方法，其特征在于，所述微孔为圆形孔， 且规则分布于所述腐蚀板上。

13.根据权利要求9-12任一所述的制造方法，其特征在于，所述步骤5 具体包括：

步骤51、在所述腐蚀板上形成定位孔；

步骤52、通过定位销穿通所述定位孔将多个腐蚀板定位叠加。

14.根据权利要求10或11所述的制造方法，其特征在于，所述微孔的 宽度为5微米～500微米。

15.根据权利要求12所述的制造方法，其特征在于，所述微孔的直径为 5微米～500微米。