[发明专利]蒸镀机的被镀物改良固持装置有效
申请号: | 200810224631.6 | 申请日: | 2008-10-22 |
公开(公告)号: | CN101724814A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 徐正群;陈竞清 | 申请(专利权)人: | 徐正群;陈竞清 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 张颖玲;王黎延 |
地址: | 中国台湾台北县五股*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀机 被镀物 改良 装置 | ||
技术领域
本发明有关于一种固持装置,尤指一种装设于蒸镀机内部用以供夹掣被镀物的固持装置。
背景技术
一般市面上的装饰品、餐具,或刀具、工具、模具半导体组件等,这些物品的表面上均大量利用物理气相沉积(PVD,Physical Vapor Deposition)来对被镀物表面进行纳米离子披覆,借以增加被镀物的耐热性、耐蚀性、表面硬度及延长使用寿命;然而,如何将该纳米离子连续且均匀地披覆在被镀物的表面上,以大幅增加其机械性质及延长使用寿命,已成为从事该项行业的相关人士所研究的重要课题。
如申请人已在中国台湾申请的公告第I288963号专利,为一种物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置,该固持装置装设于蒸镀机内部,用以供放置固持被镀物,包括有传动机构及固接机构,其中传动机构具有固定轴及连接于固定轴的传动组件,而固接机构具有与传动机构的固定轴呈非平行设置的旋转轴、用以固持旋转轴的支撑臂及带动旋转轴与支撑臂绕着传动机构进行旋转运动的转盘构件,在旋转轴的两端分别连接转动件及固接座,该转动件与传动组件相互啮合转动,以使固接座产生倾斜状旋转运动。
然而,上述结构中,被镀物的固持装置在实际使用上仍存在有未臻完善之处,由于该固接座适合插设细长型轴或棒等刀具,对于盘型等刀工具则较不适用;而且,公知固持装置对于具有齿状结构的刀工具较无法全面性蒸镀,易影响刀工具局部硬度的机械性质而缩短使用寿命。
发明内容
有鉴于此,本发明的主要目的在于提供一种使被镀物被全面蒸镀的蒸镀机的被镀物改良固持装置。
为了达到上述目的,本发明提供一种蒸镀机的被镀物改良固持装置,装设于蒸镀机内部并受驱动装置所驱动而作公转及自转,该固持装置包:第一传动机构,包含受所述驱动装置所驱动旋转的第一转轴及连接于该第一转轴的第一转轮;支撑架,具有固定盘及连接于该固定盘的支撑臂,该固定盘对应于该第一转轮的端面呈平行配置;一对第三传动机构,分别形成于该第一转轮的相对应侧,该第二传动机构包含绕着该第一转轮而转动的第二转轮、穿接该第二转轮及该固定盘的第二转轴、及连接于该第二转轴的第三转轮;及第三传动机构,包含受该第三转轮所传动的第四转轮、及穿接该第四转轮及该支撑臂的被镀物承接轴;其中该被镀物承接轴的轴心线与该第一转轴的轴心延伸线相互垂直。
本发明的蒸镀机的被镀物改良固持装置,其利用蒸镀机的驱动装置以驱动旋转第一传动机构,另借由第一传动机构以驱动旋转第二传动机构及第三传动机构,进而令第三传动机构的被镀物承接轴产生转动,借此使固持装置作公转及自转。
另外,本发明的蒸镀机的被镀物改良固持装置,借由该固持装置可设为两组以上,且各该固持装置为等间隔对应设置且绕着驱动装置进行旋转运动,借以实现运转过程中的受力平衡。
同时,本发明的蒸镀机的被镀物改良固持装置,借由结构简单本、制造成本低廉及维修容易的固持装置,使如侧铣刀等难以均镀的刀工具等被镀物可全面性地蒸镀而无遗漏之处,更增使用的广泛性及实用性。
附图说明
图1为本发明第一实施例应用于蒸镀机的组合示意图;
图2为图1的支撑架与被镀物的部分组合示意图;
图3为本发明第一实施例应用于蒸镀机的使用状态图;
图4为本发明第二实施例应用于蒸镀机的组合示意图。
附图标记说明
1 固持装置 2 蒸镀机
3 电弧电源供应器 4 溅镀靶
5 离子装置 6 气体入口
7 气体抽出装置 8 电弧枪
9 偏压电源供应器 10a 驱动装置
11a 固定轴 12a 转轴
13a 转动轮 14a 转盘
15a 固定臂 16a 套筒
10 第一传动机构 11 第一转轴
12 第一转轮 120 端面
121 轴孔 13 从动轮
20 支撑架 21 固定盘
210 穿孔 22 支撑臂
220 容置孔 30 第二传动机构
31 第二转轴 32 第二转轮
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