[发明专利]一种快速热处理炉用有机玻璃门自动升降机构

说明书

技术领域

本发明是一种快速热处理炉的有机玻璃门自动升降机构，用于自动升降有机玻璃门。属 于半导体设备领域。

技术背景

快速热处理是在非常短的时间内，将单个晶片加热到400～1300℃范围内的一种方法， 由于它是快速加热快速降温，快速热处理炉极大的减小了热预算。由于快速热处理炉的晶片 传输系统的机械手、晶片盒架台、晶片冷却台都处于较低洁净区，为了提高晶片传输系统的 洁净度，将其设置在一个密闭的空间里来传送，同时为了方便晶片的批处理时的晶片盒的更 换以及观察晶片传输系统的状态，特在机器的前面设计一个能自动起升的有机玻璃门。透明 的有机玻璃便于随时观察机械手的运动位置，自动升降的有机玻璃门，利于快捷的更换晶片 盒，利于保持晶片传输系统的洁净度，提高了整机系统的可靠性和工艺效率。

发明内容

本发明有机玻璃门的快速起升机构采用导轨副为运动执行构件，用气缸做为运动动力源 机构。导轨副的滑块装在滑块支架上，导轨固定在与机房固定连接的导轨支架上，运动的有 机玻璃门与滑块支架通过螺钉相连，左边的滑块支架与气缸固定相连，整个导轨副做到运动 平稳，气缸的进气压力可调得以改变滑块的滑行速度，达到调节有机玻璃门的起升速度。

该机构由以下部件构成：两导轨支架上固定片1，两导轨2，有机玻璃门3，四滑块4， 两导轨支架下固定片5，一气缸连接块6，一气缸7，两导轨支架8，两滑块支架9，10个沉 头螺钉10，两有机玻璃门压条11，机房安装板12。如图一，和图二所示。

所述的导轨支架上固定片1固定导轨支架的上部，保证导轨的垂直滑行。

所述的导轨2共两根，用螺钉固定在导轨支架8上，滑块4在其上滑行。

所述的有机玻璃门3，用螺钉与与滑块支架9相连，由滑块4的上下带动其升降。

所述的滑块4共四个，左右导轨上个有两个，在导轨2上配合滑动。

所述的导轨支架下固定片5固定导轨支架8的下部。

所述的气缸连接块6将气缸7与滑块支架9连接到一起，传替气缸7的运动到滑块支架 9。

所述的气缸7是门运动的动力源，气缸7的充放气对应滑块支架的上下行。

所述的导轨支架8上支撑固定导轨2。

附图说明

图1为有机玻璃门的快速升降机构的侧视图

图2为有机玻璃门的快速升降机构的前视图

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步介绍，但不作为对发明的限定。

如图1和图2，一种新型的有机玻璃门快速升降机构由以下部件构成：两导轨支架上固定 片1，两导轨2，有机玻璃门3，四滑块4，两导轨支架下固定片5，一气缸连接块6，一气缸 7，两导轨支架8，两滑块支架9，10个沉头螺钉10，两有机玻璃门压条11，机房安装板12。

滑块4安装在滑块支架9上，导轨2安装导轨支架8上，导轨副采用市场成熟的燕尾槽型 导轨，滑行灵活，承受的扭力矩强，有机玻璃门3与滑块支架9用螺钉10固定连接，再在有 机玻璃上装一压条11，防止了螺钉11直接与有机玻璃门3连接固定使有机玻璃门3的孔甭 裂，即增强了有机玻璃门3强度，整个机构采用气缸7作为滑行的动力源，滑行速度均衡， 波动小，气缸7操作使用简便。

本发明特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不 背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本热处理专利的侵犯， 将承担相应的法律责任。