[发明专利]钼组透紫外线玻璃的组分和应用

说明书

技术领域

本发明涉及一种钼组透紫外线玻璃的组分和应用，属于电真空玻璃。

背景技术

我国早在上世纪70年代初期就有厂家生产透紫外线玻璃，但气线、条纹、砂点很多，抗水化学稳定性低，在玻璃厚度为1mm时，波长为253.7nm处的紫外线透过率仅有60％～70％，而且紫外曝光透过率衰减大，抗水化学稳定性较差，直至目前基本状况都没有多大改观，总体质量尚达不到制造高端真空器件如光电倍增管等的要求。

发明内容

为克服现有技术中的缺陷，本发明提供了一种新的应用在短波段的钼组透紫外线玻璃组分，使得在波长为253.7nm处的紫外线透过率、紫外曝光透过率以及抗水化学稳定性都明显得到了提高。具体的说，本发明涉及一种钼组透紫外线玻璃，包含如下组分(按氧化物计的重量百分比)：SiO₂为62％～65％，Al₂O₃为3％～5％，B₂O₃为22％～24％，Na₂O为5％～7％，Li₂O为0.1％～1％，ZnO为0.1％～1％。

本发明在保证透过率和膨胀系数及工艺性能满足要求的前提下，玻璃组分中引入了少量Li₂O和ZnO，用其填充玻璃网络间隙，强化玻璃结构，堵塞离子迁移通道，以提高抗水化学稳定性和抗紫外曝光透过率衰减性能，同时引入的Li₂O也起到助熔作用，改善了工艺性能。而且在成分设计时相应提高了Al₂O₃的含量，这样既有助于强化玻璃结构也有助于提高抗水化学稳定性和抗紫外曝光透过率衰减性能。另外，本发明提高了膨胀系数在50×10^-7/℃左右的钼组透紫外线玻璃的抗水化学稳定性。

本钼组透紫外线玻璃可直接和金属钼或可伐合金封接，在波长为253.7nm处的紫外线透过率大于等于85％。

该玻璃适用于光电管、光电倍增管的管壳或光窗材料。

具体实施方式

根据本发明的一种钼组透紫外线玻璃，其主要组分的重量百分比为：SiO₂为62％～65％，Al₂O₃为3％～5％，B₂O₃为22％～24％，Na₂O为5％～7％，Li₂O为0.1％～1％，ZnO为0.1％～1％。由于紫外线透过率受材料的纯度影响很大，任何缺陷和杂质都严重损害材料的紫外线透过率，所以使用材料的纯度级别至少应为优纯级，并且在配料和加料工艺中使用塑料或不锈钢材质的工具，这样在玻璃生产过程中产生的杂质K₂O和Fe₂O₃可控制在极少的含量内，其重量百分比均控制在0.02％以下。为了不影响透紫外线玻璃的透过率，其所有杂质的重量百分比总和不应超过0.03％。

本发明具体实施例如下：

表一(实施例1至实施例3)为本发明提供玻璃组分的具体实施例。

表一具体实施例