[发明专利]一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法

权利要求书

1.一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

1)清洗电极；

2)采用旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料，所述的液态绝缘材料采用由WSR 618环氧树脂、501活性稀释剂和651低分子聚酰胺树脂固化剂混合而成的环氧树脂液；

3)利用溶剂液膜，通过局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料，使端面导电；

4)对侧壁表面上的液态绝缘材料进行固化处理；

5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次，在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜，以满足侧壁绝缘要求。

2.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，其特征在于：所述的环氧树脂液的组分WSR 618环氧树脂、501活性稀释剂和651低分子聚酰胺树脂固化剂的质量配比为1∶(0.05～0.15)∶(0.30～0.50)。

3.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，其特征在于：所述环氧树脂液的固化温度为15℃～35℃，固化时间为30～50小时。

4.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，其特征在于：所述的环氧树脂液作为液态绝缘材料，在步骤3)中利用溶剂液膜通过局部溶解的方法进行电极端面的导电处理中，所用的溶剂为501活性稀释剂。

5.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，其特征在于：所述的环氧树脂液作为液态绝缘材料，在步骤5)中，形成的侧壁绝缘膜的厚度为2.5～5μm。