[发明专利]一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法无效
申请号: | 200810225440.1 | 申请日: | 2008-10-31 |
公开(公告)号: | CN101391328A | 公开(公告)日: | 2009-03-25 |
发明(设计)人: | 李勇;刘改红;陈旭鹏 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | B23H3/04 | 分类号: | B23H3/04;B23H3/06;C08J3/24;C08L63/00 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微细 电化学 工用 电极 侧壁 绝缘 方法 | ||
1.一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法,其特征在于该方法包括如下步骤:
1)清洗电极;
2)采用旋涂法在电极表面涂敷液态绝缘材料,所述的液态绝缘材料采用由WSR 618环氧树脂、501活性稀释剂和651低分子聚酰胺树脂固化剂混合而成的环氧树脂液;
3)利用溶剂液膜,通过局部溶解的方法去除电极端面的液态绝缘材料,使端面导电;
4)对侧壁表面上的液态绝缘材料进行固化处理;
5)重复步骤2)、步骤3)、步骤4)数次,在电极的侧壁表面形成一定厚度的绝缘膜,以满足侧壁绝缘要求。
2.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法,其特征在于:所述的环氧树脂液的组分WSR 618环氧树脂、501活性稀释剂和651低分子聚酰胺树脂固化剂的质量配比为1∶(0.05~0.15)∶(0.30~0.50)。
3.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法,其特征在于:所述环氧树脂液的固化温度为15℃~35℃,固化时间为30~50小时。
4.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法,其特征在于:所述的环氧树脂液作为液态绝缘材料,在步骤3)中利用溶剂液膜通过局部溶解的方法进行电极端面的导电处理中,所用的溶剂为501活性稀释剂。
5.根据权利要求1所述的微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法,其特征在于:所述的环氧树脂液作为液态绝缘材料,在步骤5)中,形成的侧壁绝缘膜的厚度为2.5~5μm。
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