[发明专利]一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法

权利要求书

1.一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：首先选择基底；然后在其表面制作出引导沟槽；对基底进行亲水化处理，涂敷纳米球，采用自组装并通过沟槽的约束、引导在基底上排列纳米球，实现与沟槽的形状一致的单列纳米球排布；其中所述沟槽宽度和深度小于，或等于，或大于所述纳米球的直径。

2.根据权利要求1所述的一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：所述的基底为石英、或K9、或硅、或硒化锌、或锗材料。

3.根据权利要求1所述的一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：所述的纳米球是玻璃球、或聚苯乙烯微球、或聚合物微球，纳米球直径为50nm-7000nm。

4.根据权利要求1所述的一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：所述的沟槽剖面是矩形槽，或圆形，或梯形槽，或V形槽，或燕尾形槽。

5.根据权利要求1所述的一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：所述的沟槽外形可以是直线，或曲线、或三角形，或多边形，或上述图形的组合。

6.根据权利要求1所述的一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：所述的沟槽口径可以一致、或呈由小到大变化、或呈由大到小变化满足不同的应用需求。

7.根据权利要求1所述的一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：所述的沟槽是通过电子束、干涉光刻经干法或湿法腐蚀后形成，或是聚焦粒子束直接制作，或是用纳米压印的方法复制得到，或是用机械加工的方法制作。

8.根据权利要求1所述的一种利用沟槽引导的单列纳米球自组装方法，其特征在于：所述的沟槽可以通过分区控制实现多通道单列纳米球自组装，分区既可相通，也可分立，用以实现需求的多种独立、组合排布。