[发明专利]一种制作氮化镓基垂直结构LED金属衬底的方法

权利要求书

1.一种制作GaN基垂直结构LED金属衬底的方法，采用两种或两种以上金属进行交替电镀，得到多层金属组成的金属衬底，所述金属中至少有一种张应力金属和一种压应力金属相搭配。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述张应力金属选自Cu、Co和Pd。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述压应力金属选自Ni和W。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，采用Cu和Ni进行交替电镀。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，电镀时电流为0.1A～20A。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，每层金属的厚度在1～100微米范围内。

7.如权利要求1～6中任一权利要求所述的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：

1)将样品放入第一金属电镀池，应用第一电流标准，电镀第一种金属至一定厚度；

2)将样品放入第二金属电镀池，应用第二电流标准，电镀第二种金属至一定厚度；

3)将样品放回第一金属电镀池，或者放入第三金属电镀池，应用第三电流标准，电镀第一或第三种金属至一定厚度；

如此往复，电镀至所需金属衬底厚度。