[发明专利]卧式干式真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及抽真空技术领域，特别是一种卧式干式真空泵。 

背景技术

目前市场上已经有一些干式真空泵，干式真空泵易于维护、操作简便且能获得清洁的真空环境，所以被广泛的应用于许多行业。为了获得高真空环境，现在国内大量使用的是高真空机组，即及主泵需配前级泵，且在联结时需大量管路和阀门。采用高真空机组，不仅需考虑各种真空泵的工作压力范围，而且系统中的真空泵、连接管道、阀门、真空计等辅助元件以及它们的控制单元使得这套系统成本很高。典型的高真空系统至少额外需要三个阀门和一个旁通管路。在半导体工厂中，前级真空泵一般都安装在生产车间的下一层，使得前级泵的抽速损耗加大很多，因此必须选用昂贵的、性能好的泵。此外，在现代工业中的一些真空应用场合，如太阳能电池设备、半导体器件制备、小型精密实验设备等，由真空泵机组带来的占用空间庞大、维护麻烦、抽气效率损失等问题，影响了工艺的进行。 

发明内容

为解决以上装置的不足，本发明提供一种可达到高真空且直排大气无需前级泵的真空泵。 

本发明结构设计是这样实现的，一种卧式干式真空泵，包括主泵体，电机、转子和定子，定子由牵引定子和旋涡定子组成，牵引定子包括螺旋肋筋和螺旋槽，螺旋肋筋设在牵引定子内外壁上，螺旋肋筋间构成牵引风流槽，螺旋槽分布在牵引定子内外壁上，旋涡定子由两个半圆空腔对接构成，旋涡定子的最外级层设有排气道；转子由牵引转子、螺旋转子和旋涡转子组成，牵引转子为盘形，牵引转子的上平面设有一凸台，凸台中心有一通孔，凸台圆周外侧的平面上具有至少一层环形圆板，螺旋转子外表面设有径向螺旋叶，旋涡转子为叶轮形式，在旋涡转子的圆周上设有沟槽，沟槽之间用薄板隔开。 

所述的旋涡定子由两个半圆空腔对接构成，空腔呈“凸”字形，较大的一头靠近定子外壁，称为抽气腔；较小的一头通至轴心位置，用于安装叶轮转子，称为装配腔。 

所述的沟槽为矩形或近四分之一圆形或半圆形。 

所述的径向螺旋叶的叶型为渐开线型或阿基米德螺线型。 

本发明与已有技术相比有如下优点：该种干泵可以获得高真空环境，且可从大气压开始工作，直至将环境压力抽至高真空段，真空度能够达到10^-3Pa，避免了使用真空机组获得高真空环境所带来的一系列问题。 

附图说明

图1为本发明结构示意图； 

图2是螺旋转子结构示意图； 

图3是旋涡转子结构示意图； 

图4是牵引转子结构示意图； 

图5是牵引定子结构示意图； 

图6是旋涡定子结构示意图； 

图中：1.压盖，2.入口，3.主泵体，4.牵引定子，5.螺旋转子，6.牵引转子，7.旋涡转子，8.水冷管，9.旋涡定子，10.排气口，11.地脚，12.底座，13.油箱，14.主轴，15.电机，16.电机壳体，17.甩油盘，18.螺旋叶，19.沟槽，20.环形圆板，21.凸台，22.螺旋肋筋，23.螺旋槽，24.抽气腔，25.装配腔。 

具体实施方式

结合附图对本发明做进一步描述：