[发明专利]光刻胶收集杯的全自动清洗设备

权利要求书

1.一种光刻胶收集杯的全自动清洗设备，其特征在于：该清洗设备分为从上到下的四个部分，分别为电控系统(1)、传输系统(2)、工艺处理系统(3)、供应排废系统(4)；传输系统(2)分为水平移动系统和垂直移动系统两套机械系统，水平移动系统设有水平气缸(8)、水平直线导轨(9)、平台(10)，水平气缸(8)两侧平行设置水平直线导轨(9)，水平气缸(8)和水平直线导轨(9)设置于平台(10)底部，平台(10)与水平直线导轨(9)在水平方向上滑动配合，平台(10)通过连接件与水平气缸(8)的输出部分连接；垂直移动系统设有垂直气缸(11)、防液体飞溅挡板(12)、工件架(13)、垂直导轨(15)，垂直气缸(11)安装于平台(10)上，垂直气缸(11)两侧平行设置垂直导轨(15)，与垂直气缸(11)的输出部分自上而下依次连接防液体飞溅挡板(12)和工件架(13)。

2.按照权利要求1所述的光刻胶收集杯的全自动清洗设备，其特征在于：工艺处理系统(3)设有超声波清洗槽(5)、喷淋清洗槽(6)、热氮气风干装置(16)，超声波清洗槽(5)设置于一侧，喷淋清洗槽(6)和热氮气风干装置(16)设置于另一侧；超声波清洗槽(5)和喷淋清洗槽(6)位于传输系统(2)下面，热氮气风干装置(16)设置于喷淋清洗槽(6)上面。

3.按照权利要求2所述的光刻胶收集杯的全自动清洗设备，其特征在于：安装于传输系统(2)的防液体飞溅挡板(12)与超声波清洗槽(5)或喷淋清洗槽(6)相应，作为超声波清洗槽(5)或喷淋清洗槽(6)的盖板。

4.按照权利要求2所述的光刻胶收集杯的全自动清洗设备，其特征在于：超声波清洗槽(5)里面有加热装置。

5.按照权利要求1所述的光刻胶收集杯的全自动清洗设备，其特征在于：电控系统(1)包括PLC控制系统、触摸屏人机界面、电源单元，通过常规的触摸屏连接PLC控制系统，电源单元为PLC控制系统供电。

6.按照权利要求1所述的光刻胶收集杯的全自动清洗设备，其特征在于：供应排废系统(4)包括：去离子水、氮气、压缩空气的供应系统，以及排废系统、排风系统，排风系统分布在最下层。