[发明专利]一种磁控溅射靶有效
| 申请号： | 200810228885.5 | 申请日： | 2008-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101736300A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 冯彬;鲁向群;佟辉;刘大为;周颖;刘丽华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 许宗富 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 | ||
1.一种溅射磁性材料的永磁体的圆形平面磁控溅射靶，包括外屏蔽罩(1)、 磁钢座(2)、极靴(3)、绝缘座(8)、固定座(6)、靶材压盖(13)、内磁钢(12)、 外磁钢(11)、进水嘴(7)、出水嘴(4)、联接螺栓和密封橡胶圈(10、10′、 10″、10″′)；其特征在于：靶材(14)直接放在磁钢座(2)上，通过靶材 压盖(13)固定；磁钢座(2)材料为无氧铜，中心放内磁钢(12)，周边钻若 干小孔放外磁钢(11)，内磁钢(12)和外磁钢(11)极性朝向相反；极靴(3) 材料为导磁材料，磁控靶工作时直流或者射频电源加在极靴(3)上；极靴(3) 下面焊接进水嘴(7)和出水嘴(4)，冷却水低进高出，靠密封橡胶圈(10、10 ′、10″、10″′)实现密封以保证内外磁钢不和冷却水直接接触。
2.按照权利要求1所述溅射靶，其特征在于：外屏蔽罩(1)和固定座(6) 之间采用螺纹手动可调结构，可根据靶材的厚度上下调节，把靶头带电部分整 个罩起来，防止放电。
3.按照权利要求1所述溅射靶，其特征在于：绝缘座(8)为可以在真空 下使用的耐热绝缘材料，起到固定座(6)和极靴(3)之间的绝缘作用；螺钉 (15、15′)穿过绝缘座(8)拧在磁钢座(2)上，把极靴(3)压紧在绝缘座 (8)和磁钢座(2)之间；极靴(3)和磁钢座(2)工作时都带电，螺钉(15、 15′)也带电，为了避免螺钉(15、15′)和固定座(6)之间放电，用绝缘帽 (5)塞在两者之间起绝缘作用；固定座(6)和绝缘座(8)之间的密封橡胶圈 (10、10′、10″、10″′)是靠螺钉(15、15′)拧在螺钉套(9)上压紧的。
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