[发明专利]一种复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法

说明书

技术领域

本发明属于大型精密仪器的技术指标测试、故障检查定位领域，特别是涉及一种检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法。 

背景技术

扫描电子显微镜是研究毫米、微米、纳米数量级样品微观结构的大型精密仪器，保证放大后的样品图像与实物成相似形是必要的前提，用实物为标准、参考检测扫描电子显微镜失真情况，是扫描电子显微镜日常维护检查、维修后校对的有效方法。 

国外相关科研机构及公司都非常重视校对仪器技术指标的标准参考物质的研制，美国国家标准技术研究院(NIST)、德国国家物理技术实验室(PTB)以及英国国家物力实验室(NPL)等都已经发布了多个不同线距的标准参考物质(SRM)或实物标准(RM)。国外的许多公司，如美国的VLSI标准公司、德国的VEECO公司、日本的HITACHI公司也研究出用于检验扫描电子显微镜技术指标的实物标准。 

而目前，我们能接触的检验仪器的标准样品基本出自于国外仪器生产厂家，而厂家在卖出产品时所提供检验仪器的标准样品并不能全面反映仪器的整体指标，反而会规避其产品缺陷、突出展示其产品长处，日本日立公司提供的标准样品，仅显示出放大倍率的最高端分辨率附图1-1，附图1-2，一般厂家现场工程师安装仪器后，仅用厂家标准样品对仪器进行简单校对，之后便将样品带走。而我们国内购买单位往往对产品的熟悉程度远远低于卖方，不可能备有相应的检验方法手段和相应的标准样品，在使用熟悉后才能发现一些问题，往往已经超过了索赔或保质期限。同时，仪器经过长期使用后当温度、湿度、电路等发生变化时，电子显微镜的图像指标也会有所变化出现新的失真。都需要有自己的标准样品来检测。 

目前所见报道的扫描电子显微镜标准样品均是人为制造的，其缺点是： 

(1)一个标准样品仅能检测某一窄段倍率的情况(10³倍率范围)，由多个标准样品覆盖整个倍率范围。(2)检验失真度标准样品倍率范围较低，标准规整图形样品较少，在纳米数量级多为线距的标准参考物质。(3)标准样品不规范，重复性、一致性较差。(4)上面所述，缺少能够测试覆盖放大倍范围较大的复合型标准样品。 

发明内容

发明目的：本发明提供一种复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法，其目的是解决现有的标准样品倍率范围低、样品不规范、只能检测较窄范围等方面存在的问题。

技术方案：本发明是通过以下技术方案来实现的： 

一种复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法，其特征在于：以昆虫的复眼器官表面角质层为结构模型，在其表面覆盖一层铂金膜层，形成标准样品。此标准样品在被放大到毫米倍率段上显示为六边形组成排列整齐的矩阵；放大到微米倍率段上显示为多个中心轴对称的六边形和单个中心轴对称的正规六边形，以及单个六边形内部含有占面积90％以上的颗粒排列整齐的矩阵；放大到纳米倍率段上显示的是标准圆形结构；所述的昆虫的复眼器官是鳞翅目蝶类的粉蝶科虫的复眼。 

复眼器官是取昆虫复眼中心部位外表面角质层1mm×1mm的面积。所述的表面覆盖一层铂金膜层是用银导电胶将样品粘到扫描电子显微镜专用样品台中心，粘贴时需将样品放平、四周被按实，使样品与样品台紧密接触，待导电胶干燥后，用离子溅射仪为其表面镀50纳米厚铂金膜。 

优点及效果：本发明的功能优于在国内、国际同类标准样品，检测仪器的倍率连续、一目了然；原材料直接取之自然界，加工成本费用为国内、国际同类产品百分之一以下；如果将此标准样品进行近一步的校准定量可同时作为检验电子显微镜测量精确度的标准样品。 

本发明的特点是：(1)此标准样品能够在常规扫描电子显微镜放大的范围-毫米至纳米数量级上均能表现标准图形，可用一个标准样品同时完成扫描电子显微镜各种扫描速度上和各个放大倍率上的失真度检测。 

(2)此标准样品具有导电性，在真空和电子束重复轰击下是稳定的。 

(3)在扫描电子显微镜图像中有很好的对比度。 

附图说明

附图1-1日本日立公司扫描电子显微镜验收时在20000倍率提供的标准样品照片×20000； 

附图1-2日本日立公司扫描电子显微镜验收时在50000倍率提供的标准样品照片×50000； 

附图2-1新复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品在500倍率时照片×500； 

附图2-2新复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品1000倍率时照片×1000；