[发明专利]一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法无效
| 申请号： | 200810229299.2 | 申请日： | 2008-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN101445911A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 李志杰;张旭;贺连龙 | 申请（专利权）人： | 沈阳工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 沈阳圣群专利事务所 | 代理人： | 王玉信 |
| 地址： | 110178辽宁省沈阳市经*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二次 蒸发 法制 分散 cu 纳米 颗粒 模板 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法，其特征是，
(1)将盛有纯度99.9％的Cu粉的刚玉瓷舟装入刚玉套管，在1300℃、300TorrN2气的条件下保温40-60min，套管的内壁均匀的分布上一层Cu；
(2)蒸发得到的刚玉套管做为第二次蒸发的Cu源，以P-111型Si片为基底，流动Ar气保护，气体流速100sccm，在温度1300℃恒温30-50min，制备出单分散的Cu纳米颗粒模板。
2.根据权利要求1所述的一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法，其特征是，制备出的模板表面Cu纳米颗粒呈单分散排布，颗粒尺寸均匀，粒径分布23-96nm，平均54nm，分散密度1.96×1010/cm2，覆盖率45％。
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