[发明专利]制备硅电容差压传感器用测试夹具

权利要求书

1.一种制备硅电容差压传感器用测试夹具，包括水平、定位、夹紧、气 路、密封机构，其特征在于定位机构：将左容室（1）、六个中间容室 （3）、右容室（2）依次置于左支撑座(4)、右支撑座 (5)之间，七 个V型支撑(6)分别置于各容室之间，各容室的导气孔与底盘(12)的导 气孔H、L方向一致，导杆(11)穿过各容室、V型支撑(6)、左支撑座(4 )、右支撑座(5)中的导杆孔并固定，七个插销(14)分别固定V型支撑( 6)、六角螺栓(17)将左支撑座(4)、右支撑座(5)固定在底盘(12)上；

夹紧机构以左支撑座(4)、右支撑座(5)作为固定点，将压紧螺丝(7)旋 过右支撑座(5)、套上压紧座(8)，配以六角薄螺母(18、19)对被测传 感器实施夹紧；

气路机构：包括管路导气部分和容室导气部分，管路导气部分底盘(1 2)上表面有12个导气孔，6个正腔导气孔H，6个负腔导气孔L，底盘(1 2)内有高度不等的两层导气槽(24)，槽内也有相对应的导气孔平行于 槽水平面；底盘(12)内有高度不等的两层导气通道：上导气槽与底盘 (12)表面标有“H”的正腔导气孔垂直相交，下导气槽与标有“L”的 负腔导气孔相交，用两个分气块盖(13)分别将上导气槽和下导气槽盖 上，再将两个分气块盖(13)与底盘(12)焊接在一起并做表面处理，即 为“L”型直角短边内的导气通道，导气通道口用卡套接头(22)连接通 向各容室的不锈钢软管(23)；容室导气部分：左容室(1)、6个中间容 室(3)、右容室(2)都设计有导气通道，然后和焊接头(15)焊接成一体 ，每个焊接头(15)都与底盘(12)上的一个导气孔相对应，它们之间用 不锈钢软管(23)、卡套接头(22)连接；

密封机构：在左容室(1)、右容室(2)、中间容室(3)的沟槽里要安装O 型密封圈，以使安装被测传感器进行定位、夹紧以后，起到良好的密 封作用，来保证传感器的测试精度；

水平机构：整个测试过程要求底盘(12)相对水平，底盘(12)上表面两 端各有四个固定支撑座的螺孔、七个插销孔及一个水平调节孔，底盘 的“L”型直角短边内为导气通道，与供气管相接，另一侧由地脚座( 10)垂直支撑，该部位的两个角各设计了一个地脚座(10)、并用两个水 平螺钉(9)旋入底盘(12)的水平调节孔、顶端有六角薄螺母(20)，通过 调整水平螺钉(9)的高度来调整测试底盘(12)的水平度。 

2.根据权利要求1所述的制备硅电容差压传感器用测试夹具，其特征在于 V型支撑(6)的形状：用于支撑被测传感器的相向斜面延长线成90°角 ，相向斜面下的座壁上有对称的导杆孔，孔的轴向与两斜面的底边平 行，两斜面与V型底座水平面垂直的两个面的交线与底平面的高为导杆 直径的2倍；底座一侧延长段有垂直孔，与底盘(12)的七个插销孔相应 配合。

3.根据权利要求1所述的制备硅电容差压传感器用测试夹具，其特征在于 右支撑座(5)中部有压紧螺孔，左支撑座(4)、右支撑座(5)的一侧均有 加强筋，且有与底座(12)垂直相交的螺栓孔；各支撑座及各容室下部 均有与V型支撑(6)相同的对称的导杆孔；左支撑座(4)、右支撑座(5) 设计耐压为10-16Mpa。