[发明专利]多种化学品药液分离、重复使用装置

说明书

技术领域

本发明是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术，具体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置。

背景技术

以槽式刻蚀为代表的传统湿法刻蚀，刻蚀精度很难控制，由于溶剂微粒的沾污而导致高的缺陷水平，不能用于大直径小特征的晶圆加工。而单片刻蚀可以避免溶剂微粒的沾污，却会产生大量的化学废液，在化学品回收利用方面是个空白。

发明内容

为实现化学品的重复使用，本发明的目的在于提供一种多种化学品药液分离、重复使用装置，可将多种化学药液分离，再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度，实现再利用，该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费。

本发明的技术方案是：

一种多种化学品药液分离、重复使用装置，该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的一个入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。

所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，还包括配比液罐、补酸控制器，再生液罐的另一入口通过管路与配比液罐相连，在该管路上装有泵；补酸控制器的输入端通过传感器置于回收液罐中，补酸控制器的输出端连接所述的泵，控制泵的开启或关闭。

所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，在回收液罐与再生液罐的入口相连的管路上安装有泵。

所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，在再生液罐出口插设的管路上安装有泵。

所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，在回收液罐与再生液罐的入口相连的管路上安装排污管，在该排污管上安装排废阀。

所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，收集杯为三个，第一个收集杯与一个回收液罐连通，第二个收集杯与另一个回收液罐连通，第三个收集杯连接排污管。

所述的多种化学品药液分离、重复使用装置，药液杯的内侧设置旋转马达，承片台安装于旋转马达的轴上，晶片放置在承片台上。

本发明的有益效果是：

1、以槽式刻蚀为代表的传统湿法刻蚀成品率低，而应用离心机旋转的单片刻蚀方式又导致大量化学品浪费，本发明装置可实现化学药液再利用。该装置主要设有承片台(CHUCK)、旋转马达、回收化学药液的药液罐、补酸控制器、化学药液泵等。本发明通过设于药液杯(CUP)的下部不同药液的回收切换装置，使化学品根据显影液归于不同的回收容器化学药液灌中。多种化学品的重复使用，是通过化学品补偿控制器，检测相应药液的浓度来实现。

2、本发明利用导向电机连接不同管路实现对化学药液的分离，补酸控制器的传感器检测药液罐中的化学药液，再通过两个泵配比液罐中的药液来调节药液浓度，再使用第三个泵来实现重复利用药液的再次喷洒。

附图说明

图1为本发明结构示意图。图中，1、晶片；2、承片台(CHUCK)；3、药液杯(CUP)；4、旋转马达；5、导向电机；6、补酸控制器；7、泵I；8、泵II；9、泵III；10、排废阀；11、配比液罐；12、回收液罐B；13、再生液罐；14、回收液罐A；15、收集杯；16、管路。

具体实施方式：

如图1所示，本发明多种化学品药液分离、重复使用装置主要包括：晶片1、承片台(CHUCK)2、药液杯(CUP)3、旋转马达4、导向电机5、补酸控制器6、泵I7、泵II8、泵III9、排废阀10、配比液罐11、回收液罐B12、再生液罐13、回收液罐A14等，具体结构如下：