[发明专利]动镜环形干涉仪

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种动镜干涉仪，尤其涉及一种动镜环形干涉仪。

【背景技术】

目前在光学干涉测量领域有许多经典的动镜干涉仪如麦克耳逊干涉仪、马 赫曾德干涉仪等得到广泛的应用，动镜干涉仪具有光程差可调，利于控制等优 点。但是由于麦克耳逊干涉仪的动镜对倾斜非常敏感，因此误差要求极严，在 制造和装配中都会形成很大的困难。因此如何解决动镜对倾斜敏感已成为一个 有待解决的技术问题。

【发明内容】

本发明涉及一种动镜环形干涉仪，其解决了现有麦克耳逊干涉仪的动镜对 倾斜非常敏感的技术问题。

本发明的技术解决方案是：

一种动镜环形干涉仪，包括第一透镜1，分束镜2，所述分束镜2将从物方 入射的光线分为两路，所述两路光线包括反射光线3和透射光线4，所述反射光 线3反方向设有探测器5，所述第一透镜1设置于分束镜2与探测器5之间，其 特殊之处在于：所述反射光线3光路上设置有双面反射镜6，所述反射光线3入 射双面反射镜6的一面；所述透射光线4经过至少3个具有反射能力的光学器 件构成的回路入射到双面反射镜6的另一面。

上述分束镜2在从物方入射来的方向还设置有第二透镜7。

上述双面反射镜6为移动式双面反射镜。

上述两路光线中还包括光楔，有时光路准心偏差时可以用于调整光路准心。

上述具有反射能力的光学器件为反射镜或棱镜。

上述反射镜或棱镜为移动式反射镜或棱镜。

本发明的动镜为双面反射镜，由于它两面反射且反射面相互平行，因此具 有对倾斜误差不敏感的优点，具有更好的环境适应性，可用于更广泛的干涉测 量领域。

【附图说明】

图1为本发明结构示意图。

【具体实施方式】

参见图1，一种动镜环形干涉仪，包括第一透镜1，分束镜2，所述分束 镜2将从物方入射的光线分为两路，所述两路光线包括反射光线3和透射光线4， 所述反射光线3反方向设有探测器5，所述第一透镜1设置于分束镜2与探测器 5之间，反射光线3光路上设置有双面反射镜6，所述反射光线3入射双面反射 镜6的一面；所述透射光线4经过至少3个反射镜构成的回路入射到双面反射 镜6的另一面，3个反射镜包括第一反射镜8、第二反射镜9以及第三反射镜10， 分束镜2在从物方入射来的方向还设置有第二透镜7，双面反射镜6为移动式双 面反射镜，3个反射镜也可为移动式反射镜，反射镜还可以由棱镜替代。

光线路径如图1：光线从物方入射经分束镜2分束后形成两路，第一路经 分束镜2透射后，入射到第一反射镜8，再第一反射镜8依次经第二反射镜9、 第三反射镜10，最后到达双面反射镜6的一面，经双面反射镜6反射后再依次 经第三反射镜10、第二反射镜9及第一反射镜8入射到分束镜2，经分束镜2 反射到达探测器5，第二路经分束镜2反射入射到双面反射镜6的另二面，再原 路反射回来入射到分束镜2，经分束镜2透射到达探测器5。