[发明专利]一种贵金属靶材的修复方法有效
| 申请号： | 200810232471.X | 申请日： | 2008-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101413107A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 高广睿;李争显;杜继红;王宝云;严鹏;陈玉斌 | 申请（专利权）人： | 西北有色金属研究院 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 | 代理人： | 李子安 |
| 地址： | 710016陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 贵金属 修复 方法 | ||
1.一种贵金属靶材的修复方法，其特征在于：将实施溅射后形成具有 溅射损耗区的贵金属靶材进行碱洗除油，清水冲洗，无水乙醇脱水，用位 于所述贵金属靶材之上的上部保护罩和位于所述贵金属靶材底部的底部 保护罩对所述贵金属靶材实施惰性气体氩气保护，用氩弧焊枪的钨极使与 靶材材质相同的丝材和靶材的局部熔化，并堆积在所述损耗区内，这样反 复进行堆积，使所述损耗区逐渐堆平，最终成为堆积态；所述底部保护罩 呈杯状，在面向所述贵金属靶材部分开有多个密排的Φ2mm圆形通孔，使 惰性气体氩气能顺利流向所述贵金属靶材；所述上部保护罩呈长方体或圆 柱体状，在面向所述贵金属靶材部分开有多个密排的Φ1.5mm圆形通孔， 使惰性气体氩气能顺利流向所述贵金属靶材。
2.根据权利要求1所述的一种贵金属靶材的修复方法，其特征在于： 对所述堆积态进行机械加工处理。
3.根据权利要求1所述的一种贵金属靶材的修复方法，其特征在于： 所述贵金属为Pt、Au、Ag、Pd及其合金。
4.根据权利要求1所述的一种贵金属靶材的修复方法，其特征在于： 对所述贵金属靶材的上部和底部均实施惰性气体氩气保护。
5.根据权利要求1或4所述的一种贵金属靶材的修复方法，其特征在 于：所述氩气流量为8-35L/min。
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