[发明专利]一种介质阻挡放电低温等离子体有害气体转化装置

权利要求书

1.一种介质阻挡放电低温等离子体有害气体转化装置，该装置主要由高压电源、 低温等离子体反应器(7)及测量电路构成，其特征在于：所述低温等离子 体反应器(7)为同轴管式介质阻挡放电低温等离子体反应器，由中心低压 电极(17)、与之同轴的石英介质(15)、定位法兰(13)、包裹在石英 介质(15)外壁的高压电极(16)、聚四氟乙烯连接杆(14)、垫片(12)、 前端盖(11)、后端盖(18)组成，前端盖进气接口(10)，后端盖出气 接口(19)及可选进、排气接口，中心低压电极(17)外壁与石英介质 (15)内壁之间的间隙形成低温等离子体反应区构成；所述高压电源由 调压器(1)调节输入电压，利用电流表(2)、电压表(3)监测输入电流、 电压值，通过变压变频低温等离子体电源(4)调节低温等离子体反应器(7) 的工作电压及频率，电压范围0～25kV，频率范围为8～20kHz。

2.根据权利要求1所述的一种介质阻挡放电低温等离子体有害气体转化装置， 其特征在于，所述中心低压电极(17)材料为不锈钢管，该管内部对称焊接 两块堵板(21)，并在其两端周圈打孔，利用定位法兰(13)保证中心低压 电极(17)与石英介质(15)的同轴度，高压电极(16)材料为铜皮， 包裹在石英介质(15)外壁；中心低压电极(17)、高压电极(16)分别 与变压变频低温等离子体电源(4)两极相连。

3.根据权利要求1或2所述的一种介质阻挡放电低温等离子体有害气体转化装 置，其特征在于，所述石英介质(15)厚度为1～4mm，高压电极(16)紧密 包裹在石英介质(15)外壁上，所述高压电极(16)宽度可在25～100mm范 围内调节。

4.根据权利要求1或2所述的一种介质阻挡放电低温等离子体有害气体转化装 置，其特征在于，所述中心低压电极(17)外壁与石英介质(15)内壁之 间的放电间隙为1～3mm。

5.根据权利要求1或2所述的一种介质阻挡放电低温等离子体有害气体转化装 置，其特征在于，所述测量电路由两条支路及数字示波器(9)构成：第一路 由电容串联组成；第二路由测量电容(8)与低温等离子体反应器(7)串联 组成，两支路分压引线与数字示波器(9)连接，利用电荷-电压李萨如图形 法进行低温等离子体反应器(7)电学参量测量。

6.根据权利要求1或2所述的一种介质阻挡放电低温等离子体有害气体转化装 置，其特征在于，所述前端盖(11)设有进气接口(10)，所述后端盖(18) 设有出气接口(19)和可选进、排气接口。