[发明专利]用于多孔薄板加工用的真空夹具及其使用方法

权利要求书

1.用于多孔薄板加工的真空夹具，涉及多孔薄板，包括基板、定位装 置、导气装置、真空发生装置和密封装置，其特征在于：所述的基板上分 布有与多孔薄板外形相适应的浅腔，该浅腔内分布有导气孔，浅腔与多孔 薄板底面形成真空腔，将多孔薄板吸附在基板上，定位装置限制多孔薄板 在基板上的移动，使多孔薄板处于装夹状态，导气装置连接基板和真空发 生装置，密封装置包括密封条和贯穿孔密封元件，密封条分布在浅腔四周 边沿，贯穿孔密封元件分布在浅腔内；所述的多孔薄板位于基板内时，贯 穿孔密封元件恰好分布在多孔薄板所设置的装配孔下方；所述的贯穿孔密 封元件包括小轴和O型圈，小轴的端面设有小槽，O型圈嵌入小槽内，O 型圈尺寸与贯穿孔大小相适应。

2.根据权利要求1所述的用于多孔薄板加工的真空夹具，其特征在于： 所述基板的一侧设有快换接头，快换接头与导气孔贯通。

3.根据权利要求1所述的用于多孔薄板加工的真空夹具，其特征在于： 所述的浅腔内分布有与多孔薄板外形相适应的筋和凸台。