[发明专利]硅片清洗脱胶夹具

权利要求书

1.一种硅片清洗脱胶夹具，包括两侧板及装置在两侧板之间的各一对上导杆、分隔板导杆及下导杆，分隔板导杆设置在上导杆与下导杆之间，在分隔板导杆上夹挂有分隔板，其特征在于：所述上导杆上滑套有两对粘机板固定夹及至少一对粘机板限位夹，粘机板固定夹上设有夹持住粘机板上销轴的螺钉，粘机板限位夹上设有抵住粘机板两侧的调节夹头，调节夹头螺纹连接在粘机板限位夹上，调节夹头可以调整伸出长度以适应不同型号的粘机板，粘机板限位夹上设有将粘机板限位夹固定在上导杆上的螺钉；所述每个侧板的两侧设有起吊钩，起吊钩之间连接有把手。

2.按照权利要求1所述的硅片清洗脱胶夹具，其特征在于：所述两侧板之间还装置有一对板夹导杆，板夹导杆设置在分隔板导杆与下导杆之间，板夹导杆上分别滑套有与分隔板数量相等的分隔板夹，所述分隔板夹上设有夹持分隔板两端的细槽，并设有将分隔板夹固定在板夹导杆上的螺钉。

3.按照权利要求1或2所述的硅片清洗脱胶夹具，其特征在于：在所述分隔板导杆及下导杆上滑套有两块限位挡板，所述限位挡板上设有将限位挡板固定在分隔板导杆上的螺钉。