[发明专利]一种荫罩式等离子体显示板金属电极的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子体显示板前衬底玻璃基板金属电极的制作技术，特别是一种利用薄膜光刻技术和厚膜技术相结合的荫罩式等离子体显示板前衬底玻璃基板的金属电极制作方法，具体地说是一种荫罩式等离子体显示板金属电极的制备方法。

背景技术

目前，常用的电极制备常规方法中使用比较多的是光敏银浆法和薄膜光刻法，光敏银浆法就是在基板上整板印刷一定厚度的光敏银浆，烘干后用专用的掩膜版经曝光、显影，得到所需的电极图形，再经过烧结，完成电极的制作。但是这种方法制备电极需要把浆料印刷给玻璃基板的整面，而最终形成的图形的浆料只有约30％，而高分辨的线条通常需要用薄膜方法，分辨率的限制是决定是否使用厚膜技术的最大的因素，薄膜光刻法是采用真空成膜装置，用光刻胶形成保护膜，然后经过曝光、显影、腐蚀等一系列步骤，形成所需电极图形，可以获得整板均匀性好、精度高的电极线条，可为几微米宽，但是光刻设备昂贵，制造工艺复杂，成本很高，材料浪费严重，且容易造成污染。

将薄膜光刻技术和厚膜技术相结合，不仅可以做到比较细的电极，且成本远低于薄膜法，同时由于不需要整板印刷浆料，可以减少不必要的资源的浪费和制造费用的增加。但是，这种制作过程中，烧结过程会导致电极材料中的银离子扩散进入玻璃基板中与玻璃中的Na、K等元素发生置换反应形成银胶体，造成电极周围发黄即面板黄化，从而影响了等离子体显示板的亮度和对比度，使其画质降低。因此，现有的电极制备方法不能达到高质量、高生产效率、低损耗、低污染、无卷边现象的要求，不能满足现有的生产需要。

发明内容

本发明的目的是针对现有等离子体显示板的金属电极制作方法存在的资源浪费大，生产效率不高，面板黄化，画面质量低，污染严重的问题，提出的一种采用不含金属银Ag的黑色玻璃浆料，以梯形的形状形成在玻璃基板上，可有效阻止导电银浆中的银颗粒向下扩散进入玻璃基板发生黄化反应的荫罩式等离子体显示面板金属电极的制备方法。

本发明的技术方案是：

一种荫罩式等离子体显示板金属电极的制备方法，其特征是它包括以下步骤：

a.清洗前衬底玻璃基板，在前衬底玻璃基板表面制作感光层；

b.用带有电极图案的掩膜板平铺在感光层的表面，再用紫外线光照射带有电极图案的掩膜板和感光层进行曝光，形成固化的感光层和未固化的感光层；

c.将曝光后的前衬底玻璃基板放入显影设备中进行显影，用显影液喷淋上述曝光过的前衬底玻璃基板，去除未固化的感光层，形成带有所需图形的固化的感光层的前衬底玻璃基板；

d.在前衬底玻璃基板被除去的未固化的感光层的相应位置处填充黑色浆料，在黑色浆料的表面填充导电银浆形成所需要的电极图形；

e.将表面有固化的感光层、填充的黑色浆料和导电银浆的前衬底玻璃基板烘干，去除导电银浆中的部分溶剂，使黑色浆料和导电银浆固着形成所需图形的电极，并附着在前衬底玻璃基板上；

f.用喷淋溶液喷淋制作好电极的前衬底玻璃基板，使固化的感光层与喷淋溶液充分反应，固化的感光层脱离前衬底玻璃基板，在前衬底玻璃基板上留下黑色浆料和导电银浆固化形成的所需图形的电极；

g.用烧成炉对制备好所需图形电极的前衬底玻璃基板进行烧结、保温，彻底去除导电银浆中的溶剂，得到最终成形的电极。

本发明所述的感光层厚度为5～20μm，感光层含PVA感光材料。

本发明所述的黑色浆料是一种黑色颜料，是不透光、不导电的玻璃浆料。

本发明所述的显影液为0.1～1.0％的碳酸钠显影液。

本发明所述的烘干温度为80～150℃，烘干时间为20～60分钟。

本发明所述的喷淋溶液为0.5～8％的乙醇胺溶液。

本发明所述的烧结温度为530～600℃，保温时间为30～60分钟。

本发明所述的曝光和显影后形成的固化的感光层为反梯形。

本发明所述的最终成形的固化的黑色浆料为梯形，导电银浆以梯形形状在黑色浆料的梯形上。

本发明所述的前衬底玻璃基板为钠钙玻璃。

本发明的有益效果：

1、本发明采用普通的钠钙玻璃而不是等离子体显示板专用玻璃作为基板，降低了制作成本。

2、本发明采用的黑色玻璃浆料不含金属银Ag，以梯形的形状形成在玻璃基板上，可有效阻止导电银浆中的银颗粒向下扩散进入玻璃基板发生黄化反应。

3、本发明的荫罩式等离子体显示板金属电极的制备方法利用感光材料，仅对形成实际电极图形的部分形成电极，杜绝不必要黑色浆料和导电银浆的浪费，减少显示面板的制造费用，并可以提高生产效率。