[发明专利]用于具备电磁屏蔽功能的洁净室的门

说明书

技术领域

本发明涉及用于洁净室的门，该洁净室同时具备电磁屏蔽室的功能。

背景技术

电子工业的迅速发展使得各种各样的电子设备得到了广泛的普及和应用，它们在方便人类工作的同时也释放出大量的电磁辐射。大量的电磁辐射一方面会危害人们的健康，另一方面也会干扰其它电子产品内部微电流的控制信号，使某些精密电子设备的操作系统出现失误或瘫痪。此外，电磁辐射的发散性还给信息安全带来了隐患，计算机等科研设备在工作时会通过电磁波将有用的信息泄露出去，导致信息泄密，有可能造成政治、经济、国防等方面的重大损失。

另一方面，随着微电子、半导体、精密机械等制作领域的技术不断升级，对洁净室内的空气洁净要求不再仅仅满足于尘埃粒子、细菌、温度、湿度、压力等参数达到要求，还进一步对噪音、振动、高纯度水气、静电辐射等方面的洁净程度提出了更高的要求。这就要求传统的洁净室具有屏蔽辐射的能力，或者需要令传统的屏蔽室同时具有洁净室的功能。

电磁屏蔽的基本技术原理是：用金属屏蔽材料将电磁干扰源封闭起来，使其外部电磁场强度低于允许值的一种措施；或用金属屏蔽材料将电磁敏感电路封闭起来，使其内部电磁场强度低于允许值的一种措施。

洁净室和屏蔽室建造属于不同的技术领域，传统电磁屏蔽室尤其是目前常见的土建厚墙配置钢框的钢板式屏蔽结构，门厚墙厚，施工难度大，建造周期长，而且成本高。若要在这种屏蔽环境中建立洁净环境，其所需的费用以及建造难度是可想而知的。换个角度，若要在洁净室中建立独立的屏蔽室，其难度同样很大，这是因为洁净室内的各种管道、过滤装置、接缝等处的工艺处理具有比较特殊的要求，通常无法满足屏蔽室所要求的屏蔽连续性，难以实现屏蔽功能。

在此背景下，若能设法令通常的洁净室也具备电磁屏蔽的功能，将极大降低建造成本。为了达到这一目的，可以将洁净室的墙体采用导电且导磁的材料制造，使其形成一个完整连续的屏蔽壳体。但除了墙体之外，对于洁净室的每一个组成部件都必须进行特殊的电磁屏蔽处理，此工艺的难度远远超过建造屏蔽壳体的难度。

电磁屏蔽室的门结构复杂，且需经常开闭，因此成为影响整个屏蔽室的屏蔽效能的最重要环节。目前的技术中，往往在外层的屏蔽室上安装一层屏蔽门，然后在内层的洁净室上安装一层洁净门，如附图5所示，屏蔽门(50)和洁净门(60)这两层门的结构都非常复杂，占用空间大，施工成本高。并且双层门结构也增大了泄漏概率，使得洁净度与屏蔽效能都不易获得保障，在两层门之间的区域无法满足洁净度指标。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于洁净室的门，该门能屏蔽电磁波，使得所述的洁净室同时起到电磁屏蔽室的作用。

为了达到上述发明目的，本发明采用了如下的技术方案：

一种用于具备电磁屏蔽功能的洁净室的门，该门具备嵌在所述洁净室的屏蔽壳体内的门框以及与所述门框相铰接的门扇。所述门框包含：至少一首尾衔接的封闭带状的第二屏蔽体，该第二屏蔽体环绕所述门且整条外边界均与所述屏蔽壳体相能导电的接触；至少一连续的第一接触面，所述第二屏蔽体的整条内边界均与该第一接触面相能导电的接触。所述门扇包含：至少一连续的第三屏蔽体；至少一连续的第二接触面，所述第三屏蔽体的整条边界均与该第二接触面相能导电的接触，且该第二接触面的形状与所述第一接触面相同。所述第二屏蔽体、第三屏蔽体、第一接触面、第二接触面均导电且导磁。所述门还包含至少一环绕且连续地固定设置在所述门框或所述门扇上的连续的密封圈。当所述门关闭时，所述第一接触面与所述第二接触面相完整地对应贴合，所述密封圈与所述门框或所述门扇中的另一相连续地贴合。

所述的第一接触面为一环状金属插槽的两侧槽壁，所述的第二接触面为一环状金属插片的两侧表面，当所述门闭合时，所述插片插入所述插槽内。所述插槽由一对相互面对的弹性金属片构成，当所述金属片处于未蓄弹力的状态时，该一对金属片之间的最小间距小于所述插片的厚度。所述插槽开设在所述门框上，所述插片设置在所述门扇上。

所述门框的侧壁面的至少一部分为金属材质，该部分为所述的第一接触面，在所述门扇的侧壁上拱起地设置有环绕所述门扇的弓状金属弹簧片，该弹簧片的顶部表面为所述的第二接触面。