[发明专利]亚波长金属光栅偏振器无效
| 申请号： | 200810236730.6 | 申请日： | 2008-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN101435890A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 李晓平;史铁林;刘世元;廖广兰;汤自荣;黄光;陈志凌 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 方 放 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波长 金属 光栅 偏振 | ||
【权利要求书】：
1.一种亚波长金属光栅偏振器，在基底上具有金属条纹光栅，金属条纹光栅表面具有保护层，其特征在于：
所述基底与金属条纹光栅连接的界面具有多层介质膜层，基底另一界面具有多层介质减反膜层，所述多层介质膜层为减反膜层、增反膜层、带通滤光膜层中的一种。
2.如权利要求1所述的一种亚波长金属光栅偏振器，其特征在于：
所述基底为各自波段对应的光学材料；
所述金属条纹光栅的参数：光栅周期p<λ/n，λ是入射光波长，n是基底折射率；光栅占空比为0.4～0.6，光栅沟槽深度与宽度比为5∶1～1∶3；
所述金属条纹光栅的材料视不同波段需要，为金、银、钼、铝或铜中的一种；
所述保护层的厚度小于40nm，材料种类视具体波段而定。
3.如权利要求1或2所述的一种亚波长金属光栅偏振器，其特征在于：
所述多层介质减反膜层为对应于各自波段的减反膜层；
所述多层介质膜层为对应于各自波段的减反膜层、增反膜层、带通滤光膜层中的一种。
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