[发明专利]一种离子注入剂量控制系统及控制方法无效
| 申请号： | 200810238899.5 | 申请日： | 2008-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101764030A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 钟新华;伍三忠;邱小莎 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 剂量 控制系统 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子注入剂量控制系统，包括剂量积分器、扫描发生器、NI实时测量与控制器、NI运动控制器，其特征在于：所述的剂量积分器输出与NI实时测量与控制器的连接；所述的扫描发生器与NI实时测量与控制器的连接；所述的NI运动控制器与NI实时测量与控制器的连接。
2.如权利要求1所述的一种离子注入剂量控制系统，其特征在于：实现系统严格的实时性能要求的方法；垂直扫描与水平扫描的同步方法。
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