[发明专利]一种工艺控制的方法和装置

权利要求书

1.一种工艺控制方法，其特征在于，用于直接控制本次工艺过程， 包括：

选取当前工艺下的历史数据样本，所述历史数据样本包括当前工艺的 光谱强度数据和待预测参数；所述待预测参数包括终点时间；

依据所述历史数据样本，构建以光谱强度数据为输入变量，以待预测 参数为输出变量的预测模型；

基于该预测模型，依据本次工艺的实时光谱强度数据，对本次工艺过 程进行控制。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待预测参数包括终 点时间，或者终点时间及加工速率。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述构建预测模型的过 程包括对历史数据样本的标准正态化步骤，以及建立回归方程的步骤。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，采用多元线性回归法建 立回归方程。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于，通过以下方式对本次工 艺过程进行控制：

利用上次工艺的光谱强度数据，代入所述预测模型，预测得到本次工 艺的终点时间，进行工艺控制；

或者，利用本次工艺的实时光谱强度数据，代入所述预测模型，预测 得到本次工艺的终点时间，进行工艺控制；

或者，利用本次工艺的实时光谱强度数据，代入所述预测模型，预测 得到本次工艺的终点时间；依据所预测的终点时间对在线终点监测设备所监 测的终点时间进行前馈控制，以所得到的优化的终点时间，进行工艺控制。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，还包括：采集本次工艺 的光谱强度数据进入历史数据样本库，实时调整所述预测模型。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述当前工艺为刻蚀工艺。

8.一种工艺控制系统，其特征在于，用于直接控制本次工艺过程， 包括：

历史数据样本库，用于存储所选取的当前工艺下的历史数据样本，所 述历史数据样本包括当前工艺的光谱强度数据和待预测参数；所述待预测 参数包括终点时间；

预测模型构建模块，用于依据所述历史数据样本，构建以光谱强度数 据为输入变量，以待预测参数为输出变量的预测模型；

工艺控制模块，用于基于该预测模型，依据本次工艺的实时光谱强度 数据，对本次工艺过程进行控制。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述待预测参数包括终 点时间，或者终点时间及加工速率。

10.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述预测模型构建模 块采用多元线性回归法建立预测模型。

11.如权利要求9所述的系统，其特征在于，所述工艺控制模块通 过以下方式对本次工艺过程进行控制：

利用上次工艺的光谱强度数据，代入所述预测模型，预测得到本次工 艺的终点时间，进行工艺控制；

或者，利用本次工艺的实时光谱强度数据，代入所述预测模型，预测 得到本次工艺的终点时间，进行工艺控制。

12.如权利要求9所述的系统，其特征在于，还包括：

在线终点监测设备，用于在线监测本次工艺的终点时间；

所述工艺控制模块通过以下方式对本次工艺过程进行控制：

利用本次工艺的实时光谱强度数据，代入所述预测模型，预测得到本次 工艺的终点时间；依据所预测的终点时间对在线终点监测设备所监测的终点 时间进行前馈控制，以所得到的优化的终点时间，进行工艺控制。

13.如权利要求11或12所述的系统，其特征在于，还包括：

反馈调整模块，用于采集本次工艺的光谱强度数据进入历史数据样本 库，实时调整所述预测模型。

14.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述当前工艺为刻蚀工 艺。