[发明专利]一种化学溶液法制备高温超导薄膜的方法有效
申请号: | 200810239960.8 | 申请日: | 2008-12-16 |
公开(公告)号: | CN101752035A | 公开(公告)日: | 2010-06-23 |
发明(设计)人: | 丁发柱;古宏伟;李弢 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院 |
主分类号: | H01B12/06 | 分类号: | H01B12/06;H01B13/00 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 程凤儒 |
地址: | 100088*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 化学 溶液 法制 高温 超导 薄膜 方法 | ||
1.一种化学溶液法制备高温超导薄膜的方法,其特征在于,包括如下步骤:
第一步骤,按照(Y+RE)∶Ba∶Cu=1∶2∶3的摩尔比例把Y(CH3COO)3、RE(CH3COO)3、Ba(CH3COO)2和Cu(CH3COO)2混合,室温溶于含等当量三氟乙酸的去离子水中配成溶液,其中,RE为Nd、Sm、Eu、Gd或Dy中的一种或几种,RE(CH3COO)3占Y(CH3COO)3的摩尔含量为1-10%;
第二步骤,将上述溶液搅拌均匀后,真空蒸发溶剂得到凝胶;
第三步骤,将上述凝胶加入甲醇,制成Y、RE、Ba和Cu金属离子总浓度为0.8-3.0mol/L的溶液,搅拌均匀,制备成前驱液;
第四步骤,将上述前驱液采用旋涂或提拉方法涂覆在基片上;
第五步骤,在400℃~410℃条件下进行10小时的热处理,以分解三氟乙酸盐;
第六步骤,在800℃~850℃保温3-4小时生成掺杂稀土元素的四方相YBCO薄膜;
第七步骤,在490℃~510℃及纯氧条件下对薄膜进行保温0.5-1.5小时退火热处理,制备成掺杂稀土元素的YBCO高温超导薄膜。
2.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法,其特征在于,所述第一步骤中所述三氟乙酸的去离子水溶液浓度为20~30摩尔%。
3.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法,其特征在于,所述第二步骤中所述搅拌时间为1-5小时。
4.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法,其特征在于,所述第四步骤中所述基片为铝酸镧、钛酸锶或氧化镁单晶基体。
5.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法,其特征在于,所述第五步骤是在湿润的氧气条件下进行,反应室中的水汽压为100hPa-170hPa。
6.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法,其特征在于,所述第六步骤是在湿润的氧气和氩气条件下进行,向反应室中通入500~1000ml/min含有500~1000ppm氧气的氩气,反应室中的水汽压为100hPa-190hPa。
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