[发明专利]一种化学溶液法制备高温超导薄膜的方法

权利要求书

1.一种化学溶液法制备高温超导薄膜的方法，其特征在于，包括如下步骤：

第一步骤，按照(Y+RE)∶Ba∶Cu＝1∶2∶3的摩尔比例把Y(CH₃COO)₃、RE(CH₃COO)₃、Ba(CH₃COO)₂和Cu(CH₃COO)₂混合，室温溶于含等当量三氟乙酸的去离子水中配成溶液，其中，RE为Nd、Sm、Eu、Gd或Dy中的一种或几种，RE(CH₃COO)₃占Y(CH₃COO)₃的摩尔含量为1-10％；

第二步骤，将上述溶液搅拌均匀后，真空蒸发溶剂得到凝胶；

第三步骤，将上述凝胶加入甲醇，制成Y、RE、Ba和Cu金属离子总浓度为0.8-3.0mol/L的溶液，搅拌均匀，制备成前驱液；

第四步骤，将上述前驱液采用旋涂或提拉方法涂覆在基片上；

第五步骤，在400℃～410℃条件下进行10小时的热处理，以分解三氟乙酸盐；

第六步骤，在800℃～850℃保温3-4小时生成掺杂稀土元素的四方相YBCO薄膜；

第七步骤，在490℃～510℃及纯氧条件下对薄膜进行保温0.5-1.5小时退火热处理，制备成掺杂稀土元素的YBCO高温超导薄膜。

2.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法，其特征在于，所述第一步骤中所述三氟乙酸的去离子水溶液浓度为20～30摩尔％。

3.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法，其特征在于，所述第二步骤中所述搅拌时间为1-5小时。

4.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法，其特征在于，所述第四步骤中所述基片为铝酸镧、钛酸锶或氧化镁单晶基体。

5.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法，其特征在于，所述第五步骤是在湿润的氧气条件下进行，反应室中的水汽压为100hPa-170hPa。

6.如权利要求1所述的化学溶液法制备高温超导薄膜的方法，其特征在于，所述第六步骤是在湿润的氧气和氩气条件下进行，向反应室中通入500～1000ml/min含有500～1000ppm氧气的氩气，反应室中的水汽压为100hPa-190hPa。