[发明专利]一种生产线设备的控制装置及控制系统

权利要求书

1、一种生产线设备的控制装置，所述生产线设备包括多个受控器件，其特征在于，所述控制装置位于工控机中，通过通讯卡和各个受控器件相连，所述控制装置包括：

配置模块，用于配置各功能控制模块驱动受控器件所执行的动作及执行序列；

调度模块，包括读取子模块和线程维护子模块，所述读取子模块用于从配置模块读取所需功能控制模块的执行动作及执行序列；所述线程维护子模块用于针对各个功能控制模块维护相应的线程；

至少一个功能控制模块，包括序列执行子模块，用于在相应的线程中驱动相应的受控器件按照所述执行动作及执行序列运行。

2、如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述调度模块还包括：退出控制子模块，用于控制功能控制模块退出运行状态，并停止退出运行状态的功能控制模块的线程。

3、如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述调度模块还包括：高效控制子模块，用于在功能控制模块执行某个动作、某几个动作或整个动作序列的时间超过相应的预设时间阈值时，产生报警信息或提示信息。

4、如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述调度模块还包括：运行状态控制子模块，用于在功能控制模块执行某个动作、某几个动作或整个动作序列出错时，产生报警信息或提示信息。

5、如权利要求1、2、3或4所述的装置，其特征在于，所述生产线设备为等离子增强化学气相沉积设备，所述装置包括以下功能控制模块：

预热腔功能控制模块，其中的序列执行子模块，用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行：传片、加热、抽真空、充大气、送片的动作组合成的序列；

反应腔功能控制模块，其中的序列执行子模块，用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行：传片、加热、抽真空、工艺、吹扫、送片的动作组合成的序列：

冷却腔功能控制模块，其中的序列执行子模块，用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行：传片、冷却、抽真空、充大气、送片的动作组合成的序列；

载板传动功能控制模块，其中的序列执行子模块，用于在相应的线程中驱动相应的受控器件执行：载板装载、载板卸载、载板回收的动作组合成的序列。

6、如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述预热腔功能控制模块、反应腔功能控制模块或者冷却腔功能控制模块还包括：

传片前检查子模块，用于在执行传片动作前，检测相应的受控器件是否满足传片动作执行条件，若是，则执行所述传片动作；否则，等待一定时间，直到相应的受控器件满足传片动作执行条件；

送片前检查子模块，用于在执行送片动作前，检测相应的受控器件是否满足送片动作执行条件，若是，则执行所述送片动作；否则，等待一定时间，直到相应的受控器件满足送片动作执行条件。

7、一种生产线设备的控制系统，所述生产线设备包括多个受控器件，其特征在于，所述控制系统包括：

工控机，用于控制生产线设备运行；

通讯卡，位于工控机中，用于在工控机与生产线设备的受控器件之间进行通讯；

控制装置，位于工控机中，通过通讯卡和各个受控器件相连，所述控制装置包括：

配置模块，用于配置各功能控制模块驱动受控器件所执行的动作及执行序列；

调度模块，包括读取子模块和线程维护子模块，所述读取子模块用于从配置模块读取所需功能控制模块的执行动作及执行序列；所述线程维护子模块用于针对各个功能控制模块维护相应的线程；以及，

至少一个功能控制模块，包括序列执行子模块，用于在相应的线程中驱动相应的受控器件按照所述执行动作及执行序列运行。

8、如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述调度模块还包括：退出控制子模块，用于控制功能控制模块退出运行状态，并停止退出运行状态的功能控制模块的线程。

9、如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述调度模块还包括：高效控制子模块，用于在功能控制模块执行某个动作、某几个动作或整个动作序列的时间超过相应的预设时间阈值时，产生报警信息或提示信息。

10、如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述调度模块还包括：运行状态控制子模块，用于在功能控制模块执行某个动作、某几个动作或整个动作序列出错时，产生报警信息或提示信息。