[发明专利]300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置有效
| 申请号： | 200810240138.3 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101813411A | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 钟华;董金卫;胡星强;艾伦·埃马米 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/10 | 分类号： | F27B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 300 mm 立式 氧化 炉炉体 热电偶 固定 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体热电偶固定装置， 其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在 该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔 中，固定块设置有一个直边，固定块的外侧固定设有一个挡板(1)，该挡板 的内侧与固定块的外侧紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过 螺栓(4)固定在氧化炉炉体的内壁上，所述固定块的直边设置在固定块与 螺栓正对且远离螺栓的一端；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在氧 化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用绝缘、耐热材料制成。
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