[发明专利]匹配器及等离子体设备无效
| 申请号： | 200810240188.1 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101754567A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 赵镇勇 |
| 地址： | 100016 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 配器 等离子体 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种匹配器，其特征在于，该匹配器自输入端至输出端依次设有传感器、匹配网络，所述输入端与输出端之间设有变压器。
2.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述变压器设于所述传感器与所述匹配网络之间。
3.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述变压器设于所述匹配网络之后。
4.根据权利要求1所述的匹配器，其特征在于，所述变压器设于所述匹配网络之内。
5.根据权利要求4所述的匹配器，其特征在于，所述匹配网络包括串联可变电抗元件、并联可变电抗元件，所述变压器设于所述串联可变电抗元件与所述并联可变电抗元件之间。
6.根据权利要求1至5任一项所述的匹配器，其特征在于，所述变压器的初级线圈和次级线圈至少一个是可变线圈。
7.根据权利要求6所述的匹配器，其特征在于，所述可变线圈包括多个抽头，根据需要选择连接不同的抽头。
8.根据权利要求7所述的匹配器，其特征在于，所述可变线圈的多个抽头通过继电器选择连接。
9.根据权利要求5所述的匹配器，其特征在于，包括控制器，所述控制器接收所述传感器检测到的信号，并进行处理，并根据处理的结果控制所述可变电抗元件的变化。
10.一种等离子体设备，包括射频源、反应室，其特征在于，所述射频源与所述反应室之间连接有权利要求1至9任一项所述的匹配器。
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