[发明专利]一种基于金属钛的MEMS机械继电器的制备方法有效

专利信息
申请号: 200810240592.9 申请日: 2008-12-25
公开(公告)号: CN101447369A 公开(公告)日: 2009-06-03
发明(设计)人: 陈兢;舒琼 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: H01H49/00 分类号: H01H49/00;B81C1/00
代理公司: 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人: 贾晓玲
地址: 100871北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 金属 mems 机械 继电器 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于金属钛的MEMS机械继电器的制备方法,其步骤包括:

1)对钛基底光刻图形化,刻蚀形成浅槽;

2)选择热膨胀系数为8.6-9.4ppm/℃的玻璃,在玻璃的表面制备金属连线;

3)将钛基底和玻璃基底进行阳极键合;

4)对钛基底进行背面减薄,光刻图形化,并进行深刻蚀,穿通钛基底,形成MEMS机 械继电器。

2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述玻璃为钠钙玻璃、FOTURAN 玻璃或B270玻璃。

3.如权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述步骤1)形成的浅槽的高度 为5μm-10μm。

4.如权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述钛基底和玻璃基底阳极键 合的参数为:温度350-450℃,电压350-750V,压力1000-2000N。

5.如权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述步骤4)中所述深刻蚀具体 为,刻蚀气体为氯气,刻蚀参数为:线圈功率300-500W,平板功率50W-200W,气体流 量30-70sccm。

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