[发明专利]一种在钛及其合金表面制备铂涂层方法

权利要求书

1.本发明提供一种在钛及其合金表面制备铂涂层方法，其特征在于在氩气环境下源极和阳极之间设有直流电源并使其间产生辉光放电形成氩离子轰击高纯度的铂靶材，从而使铂原子被溅射出来，经沉积和扩散从而使钛及其合金表面形成铂涂层。涂层的厚度可以通过调整工作气压、源极电位、阴极电位以及温度与保温时间等工艺参数加以控制。通过等离子渗铂金属，可以在钛及其合金基体表面形成过渡层使得与基体更加结合牢固的铂涂层，而且钛和铂的热膨胀系数匹配，可以制备出致密的结合强的铂涂层。涂层与基体有着良好的结合力还必须通过对基体表面进行处理。

2.依据权利要求1所述一种在钛及其合金表面制备铂涂层方法，其特征在于包括下述顺序步骤：

①钛及其合金表面处理，利用较细砂纸处理，然后抛光去除表面一层氧化膜，经酒精超声清洗，自然晾干。

②在真空设备中，将钛及其合金基体作为阴极，铂靶材作为源极，调节靶材和基体之间的距离，保持在15～20mm之间，工作气压为30～50Pa，阴极电位为300～350V，源极电位为850～950V，按照设定好的工艺参数(包括源极电位、阴极电位、工作气压、沉积时间等等)进行铂涂层的沉积，需要保温2～5h。