[发明专利]用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液无效
申请号: | 200810244714.1 | 申请日: | 2008-11-26 |
公开(公告)号: | CN101430510A | 公开(公告)日: | 2009-05-13 |
发明(设计)人: | 顾奇;朱海盛 | 申请(专利权)人: | 苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司 |
主分类号: | G03F7/42 | 分类号: | G03F7/42 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人: | 陈忠辉 |
地址: | 215001江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 去除 彩色 滤光 片制程中 不良 基板上 光刻 保护层 剥离 | ||
1.用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液,其特征在于其组分具有如下的重量百分比:无机碱氢氧化物5~15wt%,水溶性有机胺化合物1~20wt%,烷基二醇烷基醚1~20wt%,聚氧乙烯醚0.1~10wt%,水35~80wt%。
2.根据权利要求1所述的用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液,其特征在于:所述的无机碱氢氧化物是烷基氢氧化铵、或者是苯基烷基氢氧化铵的氢氧化物,烷基氢氧化铵包含C1-C4的烷基。
3.根据权利要求1所述的用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液,其特征在于:所述的水溶性有机胺化合物是乙醇胺、或者是三乙醇胺、或者是二乙醇胺。
4.根据权利要求1所述的用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液,其特征在于:所述的烷基二醇烷基醚是乙二醇甲醚、或者是乙二醇乙醚、或者是丁二醇丙醚、或者是丙二醇丁醚,烷基二醇是指C1-C4的烷基,烷基醚是指C1-C4的烷基。
5.根据权利要求1所述的用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液,其特征在于:所述的聚氧乙烯醚是烷基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇氧乙烯醚,包括壬基酚聚氧乙烯醚、或者是辛基酚聚氧乙烯醚、或者是十二烷基醇聚氧乙烯醚。
6.根据权利要求1所述的用于去除彩色滤光片制程中不良基板上彩色光刻胶及保护层的剥离液,其特征在于:所述的水为电阻高于或等于18MΩ的纯水。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司,未经苏州苏电微电子信息化学品研发中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810244714.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:具有CD架的多媒体播放器
- 下一篇:用于电子束光刻剥离的去除双层胶的方法