[发明专利]一种废铝刻蚀液的综合利用工艺

权利要求书

1.一种对废铝刻蚀液进行综合利用的工艺，所述废铝刻蚀液含有磷酸，硝酸和醋酸，所述工艺包括：采用蒸馏方法将废铝刻蚀液中的磷酸与硝酸、醋酸分离开，然后将蒸馏分离后的磷酸经过过滤器过滤，滤去机械杂质，再加蒸馏水调节比重，得到浓度85％的工业磷酸；将蒸馏出的醋酸和硝酸的混合酸放入不锈钢反应釜中，加入氢氧化钠，在搅拌下进行反应，然后将净化后的反应液经浓缩、结晶、分离后，得到滤液和结晶，结晶经烘干后得到产品醋酸钠，再将滤液再进行浓缩、结晶、分离、烘干，得到产品硝酸钠；或将滤液的比重浓缩至1.2～1.3，直接采用干燥机一步完成，得到产品硝酸钠。

2.权利要求1的对废铝刻蚀液进行综合利用的工艺，包括以下步骤：

(1)采用一级或多级蒸馏法进行蒸馏，所述多级蒸馏法包括二级、三级或四级；

(2)将废铝刻蚀液进行预热，并通过流量计控制废刻蚀液的进液量；

(3)对蒸馏液进行补水稀释以充分蒸馏废液；

(4)通过自动蒸汽阀人工调节控制压力为0.45-0.5MPa，来控制蒸发器的蒸馏温度，进行连续蒸馏，分离得到磷酸液以及醋酸和硝酸的混合酸液，在蒸馏过程中采用真空泵靠抽真空减压进行减压蒸馏，从而降低蒸馏温度，减少能源消耗，确保设备不被腐蚀及产品磷酸的色度；

(5)将分离得到的磷酸液经过过滤器过滤，滤去机械杂质，再加蒸馏水调节比重，得到浓度85％的工业磷酸；

(6)将分离得到的醋酸和硝酸的混合酸放入反应釜中，加入适量的氢氧化钠，在搅拌下进行下列反应，得到反应液：

HNO₃+NaOH＝NaNO₃+H₂O

CH₃COOH+NaOH＝CH₃COONa+H₂O

(7)步骤(6)的反应液经净化、浓缩、结晶、分离后，得到滤液和结晶物，结晶物经烘干后得到产品醋酸钠，滤液再进行浓缩、结晶、分离、烘干，得到产品硝酸钠；或将滤液的比重浓缩至1.2～1.3，直接采用干燥机一步完成，得到产品硝酸钠。

3.权利要求2的对废铝刻蚀液进行综合利用的工艺，其中使用三级蒸馏法进行蒸馏，包括：将废铝刻蚀液用泵打入蒸馏系统，通过预热到一级蒸馏器，蒸馏温度90-100℃；通过一级蒸馏的液从出液口溢出进入二级蒸馏器，蒸馏温度100-110℃；通过二级蒸馏的液体从出液口溢出进入三级蒸馏，蒸馏温度110-125℃.通过三级蒸馏的液体经过过滤器过滤，滤去机械杂质，再加蒸馏水调节比重，得到浓度85％的工业磷酸；将一至三级蒸发器的出气口串联，将蒸出的混合酸气体液化收回储罐，加氢氧化钠反应得到反应液，然后将净化后的反应液经浓缩、结晶、分离后，得到滤液和结晶物，其中结晶物经烘干得到产品醋酸钠，滤液再进行浓缩、结晶、分离、烘干，得到产品硝酸钠。

4.权利要求1或2或3的对废铝刻蚀液进行综合利用的工艺，其中所述废铝刻蚀液采用北京京东方光电科技有限公司产生的编号为HW34的废ITO刻蚀液，其组成和重量含量如下：H₃PO₄：65-71％；CH₃COOH：9-11％；HNO₃：1-2％；H₂O：16-25％；另外还含有极少量的杂质Al，各组分百分含量之和为100％。