[发明专利]一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置无效
申请号: | 200810246877.3 | 申请日: | 2008-12-26 |
公开(公告)号: | CN101768773A | 公开(公告)日: | 2010-07-07 |
发明(设计)人: | 谷宇恒;梁书正;赵洋 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 郭佩兰 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 增加 区熔单晶炉 运行 时单晶 稳定性 方法 装置 | ||
1.一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:通过夹持装置与运行中的单晶实体接触,对单晶提供必要的支持力用于消除单晶运行时,晃动和倒伏的现象。
2.权利要求1所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法其特征在于:所述的与运行中的单晶实体接触的是夹持针,该夹持针与夹持牵引系统、夹持基座组成夹持装置。
3.根据权利要求2所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:支持力的接触点至少三点,各支持点均匀分布。
4.根据权利要求3所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:支持力的接触点为三点,每点间圆心角相间120度。
5.根据权利要求2所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:其通过调整夹持针与夹持基座上水平面夹角来调整夹持状态;通过传动钢丝的连接调整夹持针运动的同步一致性,和夹持针的初始位置以及启动位置设置。
6.一种用于权利要求1所述方法的夹持装置,其特征在于:它由夹持基座、夹持针、夹持牵引系统三大部分组成,所述的夹持针通过连接轴与夹持基座相连;所述的牵引系统由牵引重坠块、重坠块保护筒、牵引钢丝、重坠块连接螺钉组成;通过传动钢丝将夹持针与重坠块连接,牵引重坠块位于重坠保护筒限制内。
7.根据权利要求6所述的夹持设备,其特征在于:其夹持针通过在加工时预留连接孔,来完成与传动钢丝的连接;重坠块是通过中心打眼的螺钉,完成与传动钢丝的连接。
8.根据权利要求6或7所述的夹持设备,其特征在于:其主体部件所有材质为钼或低碳钢。
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