[发明专利]一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置无效

专利信息
申请号: 200810246877.3 申请日: 2008-12-26
公开(公告)号: CN101768773A 公开(公告)日: 2010-07-07
发明(设计)人: 谷宇恒;梁书正;赵洋 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人: 郭佩兰
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 增加 区熔单晶炉 运行 时单晶 稳定性 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:通过夹持装置与运行中的单晶实体接触,对单晶提供必要的支持力用于消除单晶运行时,晃动和倒伏的现象。

2.权利要求1所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法其特征在于:所述的与运行中的单晶实体接触的是夹持针,该夹持针与夹持牵引系统、夹持基座组成夹持装置。

3.根据权利要求2所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:支持力的接触点至少三点,各支持点均匀分布。

4.根据权利要求3所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:支持力的接触点为三点,每点间圆心角相间120度。

5.根据权利要求2所述的一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法,其特征在于:其通过调整夹持针与夹持基座上水平面夹角来调整夹持状态;通过传动钢丝的连接调整夹持针运动的同步一致性,和夹持针的初始位置以及启动位置设置。

6.一种用于权利要求1所述方法的夹持装置,其特征在于:它由夹持基座、夹持针、夹持牵引系统三大部分组成,所述的夹持针通过连接轴与夹持基座相连;所述的牵引系统由牵引重坠块、重坠块保护筒、牵引钢丝、重坠块连接螺钉组成;通过传动钢丝将夹持针与重坠块连接,牵引重坠块位于重坠保护筒限制内。

7.根据权利要求6所述的夹持设备,其特征在于:其夹持针通过在加工时预留连接孔,来完成与传动钢丝的连接;重坠块是通过中心打眼的螺钉,完成与传动钢丝的连接。

8.根据权利要求6或7所述的夹持设备,其特征在于:其主体部件所有材质为钼或低碳钢。

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