[发明专利]升降机线性马达驱动

权利要求书

1.一种用于在具有至少一个室的衬底处理系统中传输衬底的系统，包 括：

轨道，定位在该室中；

衬底运输设备，安装在该轨道之上用于传输该衬底；

多个磁元件，连接到该运输设备上；

线性马达；

多个磁导管，定位在该线性马达和该运输设备之间，其中该磁导管将 磁力从该线性马达传递到该运输设备，以产生磁耦合来传输该运输设备。

2.如权利要求1的系统，其中该线性马达被定位在该室的外面。

3.如权利要求2的系统，其中该磁元件中的每个包括定位在金属块之 上的磁体。

4.如权利要求1的系统，其中该磁导管为“L”形。

5.如权利要求1的系统，其中该磁导管为“漏斗”形。

6.如权利要求1的系统，其中该衬底处理系统包括至少两个级别的处 理室，第一级别堆叠在第二级别的顶部上。

7.如权利要求6的系统，进一步包括能够将该运输设备从该处理室的 一个级别传输到另一个级别的升降机室。

8.如权利要求7的系统，进一步包括定位在该升降机室外面的升降机 线性马达，其中该升降机线性马达与该升降机室中的一系列邻近的磁导管 对准，以便该一系列邻近的磁导管将该运输设备从处理室引导到该升降机 室内。

9.如权利要求8的系统，其中该一系列邻近的磁导管进一步能够将该 运输设备从该升降机室引导到处理室。

10.一种在衬底处理系统中的升降机子系统，包括：

升降机室，能够维持真空；

至少一个线性马达，定位在该升降机室外面，其中该线性马达产生磁 动力；

可移动的运输设备，包括多个磁元件；

可垂直移动的升降机基底，用于垂直地移动该运输设备；以及

多个极片，连接至该升降机基底并且将磁场从该线性马达耦合到该磁 元件。

11.如权利要求10的升降机子系统，进一步包括一系列邻近的极片， 该一系列邻近的极片配置成将该运输设备与邻近处理室中的线性马达分离 并将该运输设备引导到该升降机室内。

12.如权利要求11的升降机子系统，进一步包括连接到该升降机基 底的一系列导轨，以将该运输设备引导到该升降机室内。

13.如权利要求10的升降机子系统，其中在该运输设备的下侧之下 定位多个极片，以便通过增强该运输设备上的重力来增强该运输设备的稳 定性。

14.如权利要求13的升降机子系统，其中该极片被形成为“L”形， 以便当该运输设备被耦合到在其下侧上的该极片时，该线性马达位于该升 降机室的侧壁上。

15.如权利要求10的升降机子系统，其中在该线性马达和该多个极 片之间的该升降机室的壁为薄金属材料。

16.如权利要求15的升降机子系统，其中该壁为铝。

17.如权利要求10的升降机子系统，其中该极片由渗透性的软金属 制成，以最小化该线性马达和该极片之间的磁场损耗。

18.如权利要求17的升降机子系统，其中该极片为400系列的不锈 钢或铁。

19.如权利要求17的升降机的子系统，其中该磁元件中的每个包括 连接到金属块上的磁体。

20.一种衬底处理系统，包括：

一系列处理室；

轨道，定位在该室中的每个内；

衬底运输设备，安装在该轨道之上，用于在该室间传输该衬底；

多个磁元件，连接到该运输设备上；

线性马达；以及

多个磁导管，定位在该线性马达和该运输设备之间，其中该磁导管将 磁力从该线性马达传递到该运输设备，以产生磁耦合来传输该运输设备。