[发明专利]一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构

权利要求书

1.一种适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征在于：所述的光路 结构由飞秒双光子激光器(1)、光渐变衰减器(2)、滤波凸透镜(3)、针孔滤波 器(4)、截取光阑(5)、准直透镜(6)、孔径光阑(7)、超分辨衍射器(8)和 油浸物镜(9)组成，飞秒双光子激光器(1)至光敏树脂(10)之间以光轴线对 中顺次布置有光渐变衰减器(2)、滤波凸透镜(3)、针孔滤波器(4)、截取光阑 (5)、准直透镜(6)、孔径光阑(7)、超分辨衍射器(8)、油浸物镜(9)，超分 辨衍射器(8)安装在油浸物镜(9)上；

超分辨衍射器件(8)是在一基板(81)上采用二元光学加工方法加工出具有A 凹槽(82)、B凹槽(83)的一光学器件；基板(81)的半径r₄＝1～5mm，A凹槽 (82)的半径r₁＝0.2r₄，A凹槽(82)与B凹槽(83)的壁厚r₂＝r₁＝0.2r₄，B 凹槽(83)的宽度r₃＝0.20～0.3r₄。

2.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：光渐变衰减器(2)与飞秒双光子激光器(1)在中心轴线方向上相距d₁＝ 1～100mm；光渐变衰减器(2)与滤波凸透镜(3)在中心轴线方向上相距d₂＝ 1～100mm；滤波凸透镜(3)与针孔滤波器(4)在中心轴线方向上相距d₃＝ 10～100mm；针孔滤波器(4)与截取光阑(5)在中心轴线方向上相距d₄＝10～ 100mm；截取光阑(5)与准直透镜(6)在中心轴线方向上相距d₅＝900～ 1200mm；准直透镜(6)与孔径光阑(7)在中心轴线方向上相距d₆＝10～ 100mm；孔径光阑(7)与超分辨衍射器件(8)在中心轴线方向上相距d₇＝10～ 100mm；油浸物镜(9)与光敏树脂(10)在中心轴线方向上相距d₈＝0.1～1mm。

3.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：光渐变衰减器(2)采用工作波长为740nm的衰减器。

4.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：滤波凸透镜(3)采用对工作波长为700nm～1000nm的激光具有光透过， 对工作波长为400nm～700nm的激光具有光反射作用的透镜。

5.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：针孔滤波器(4)的孔径为0.1mm～1mm。

6.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：截取光阑(5)的孔径为5mm～20mm。

7.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：准直透镜(6)的前端透镜φ16mm，后端透镜φ6mm。

8.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：孔径光阑(7)的孔径为5mm～20mm。

9.根据权利要求1所述的适用于飞秒激光双光子微纳加工系统的光路结构，其特征 在于：油浸物镜(9)的数值孔径NA＝1.25。