[发明专利]涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及等离子显示器领域，具体而言，涉及一种多面取涂敷设备上的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法。

背景技术

目前平板显示面板制作中的厚膜印刷技术多采用涂敷技术，涂膜厚度的均一性是涂敷工序主要的监控对象，也是判断不良品的主要参数。涂敷机用传感器测量膜厚的过程为：先测量没有涂湿膜的基板上某一条线的表面厚度数据，在涂敷湿膜后，通过传感器再测同一姿态的湿膜表面厚度数据，所得的两组数据相减得膜厚。

为保证在ND方向(喷嘴方向，Nozzle Direction)的膜厚均一性，每次对设备维护或更换浆料后，需对喷嘴进行清洗组装，而对喷嘴进行组装后进行正式涂敷前也须对喷嘴ND方向膜厚均一性进行调整和测试，故生产中ND方向的膜厚测试和调整是非常频繁的。

对于只有一个传感器的单面取涂敷设备，传感器很容易就可在横梁上移动，从而易于实现自动测量ND方向的厚度均一性。而在多面取涂敷设备有多个传感器并排安装在横梁上，使得传感器不能沿着横梁在ND方向移动，导致了不能自动测量ND方向膜厚。

目前，要测ND方向的膜厚较简单的方法是：先涂敷一层湿膜，然后把玻璃基板手动旋转90度，测量一条直线上的湿膜厚度数据，然后把湿膜擦去，测同一姿态的光玻璃的厚度数据，再把玻璃旋转90度回到原处，这样就完成一次ND方向的膜厚测量。这种操作在多面取大面积涂敷调试过程中上是非常不便的，且在实际操作中，ND方向的膜厚均一性调整是一项繁琐的工作，需反复多次才可能完成。而且，该方法要求涂敷机的真空吸附工作台长和宽都须大于玻璃基板的长边，即需制作更大的工作台(工作台为大理石材质，表面平整度高，制作成本也较高)，以使玻璃在工作姿态旋转90度后还能良好吸附在工作台上，从而提高了设备的制作成本，且该方法在玻璃转动的过程中极易对玻璃造成损伤、延长了工艺调试时间，工作效率低。

因此，有必要改进涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法。

发明内容

本发明目的在于提供一种涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置及方法，以解决目前多面取涂敷设备中涂敷层ND方向膜厚不能自动测量的问题。

为此，根据本发明的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置，用于多面取涂敷设备上，该多面取涂敷设备具有横梁和安装于横梁上的多个第一传感器，其中，该自动测量装置包括：滑块，可滑动地设置在横梁上；可伸缩的机械臂，一端固定于滑块上；第二传感器，安装于可伸缩的机械臂的另一端，该第二传感器至少具有通过控制可伸缩的机械臂的伸长而达到测量ND方向膜厚的第一姿态，使第二传感器在沿着喷嘴方向运动时不会碰到多个第一传感器；以及驱动装置，驱动滑块在横梁上滑动，以带动该第二传感器在ND方向移动。

其中，上述第二传感器还具有与多个第一传感器平行的测量涂敷方向膜厚的第二姿态。

其中，上述驱动装置包括：伺服马达、以及伺服马达与滑块之间的连动装置。

其中，上述可伸缩的机械臂和上述驱动装置由多面取涂敷设备的主控制器所控制。

其中，上述横梁上形成供滑块滑动的滑轨，或者在横梁上安装滑轨。

另外，本发明还提供涂一种敷层ND方向膜厚的自动测量方法包括以下步骤：先使前面所述的第二传感器在前面所述的第一姿态沿ND方向移动，测量出光玻璃的表面厚度数据；在前面所述的光玻璃进行涂敷之后，再使该第二传感器在该第一姿态沿ND方向移动而测量湿膜的表面厚度数据；以及将两组数据进行相减处理以获得ND方向的膜厚，通过计算即可得到膜厚均一性。

其中，上述自动测量方法，还包括以下步骤：通过控制可伸缩的机械臂，使第二传感器处于测量涂敷方向膜厚的第二姿态以测量涂敷方向的膜厚。

在本发明的涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置中，利用传感器在涂敷头方向(ND方向)自由运动，并同时对待检件表面进行扫描得到表面厚度数据，实现了多面取涂层ND方向厚度均一性的自动测量。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本发明还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本发明的其它的目的、特征和效果作进一步详细的说明。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分。图中，

图1示意性地示出了本发明涂敷层ND方向膜厚的自动测量方法；

图2示意性地示出了本发明涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的结构；

图3示意性地示出了图2中涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的俯视结构；以及

图4示意性地示出了图2中涂敷层ND方向膜厚的自动测量装置的侧视结构。