[发明专利]溅镀承载架无效
申请号: | 200810301258.X | 申请日: | 2008-04-22 |
公开(公告)号: | CN101565817A | 公开(公告)日: | 2009-10-28 |
发明(设计)人: | 林志雄;宋佳明 | 申请(专利权)人: | 康准电子科技(昆山)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215316江苏省昆山*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 承载 | ||
1.一种溅镀承载架,包括一本体,所述本体的一面用于承载需溅镀的物品,其特征在于:所述溅镀承载架还包括至少一导热管,所述导热管设置于所述本体背向所述承载需溅镀的物品的面的另一面上。
2.如权利要求1所述的溅镀承载架,其特征在于:所述本体用于承载所述物品的面上设有若干用来支撑所述物品下表面的凸起,每一凸起开设有若干散热孔。
3.如权利要求1所述的溅镀承载架,其特征在于:所述导热管为L形。
4.如权利要求3所述的溅镀承载架,其特征在于:所述本体呈方形,所述导热管有若干个且均匀分布于所述本体的四周上。
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