[发明专利]表面声波感测器的制作方法

权利要求书

1.一表面声波感测器制作方法，包括以下步骤：

在一压电基材表面镀一感测材料层；

采用紫外线基纳米压印方法在该感测材料层表面制作预定图案；及

在镀该感测材料层的步骤之前或在该感测材料层表面制作预定图案之后，在 压电基板表面的位于该感测材料层的相对两侧形成输入叉指电极和输出叉指 电极，得到一表面声波感测器；

其中，采用紫外线基纳米压印方法在该感测材料层表面制作预定图案包括步 骤：

在该感测材料层表面涂布一层有机过渡层，

在该有机过渡层的表面涂布一层压印层，该压印层为具有紫外固化性质 的高分子材料或有机溶液，

提供一纳米压印模仁，该纳米压印模仁包括一基片及设置于基片表面的 多个凸起，该多个凸起组成该预定图案，该多个凸起之间形成有空腔，

将该模仁的多个凸起对准该压印层，并向该压印层移动，使该压印层的 材料充满该多个凸起之间的空腔，

利用紫外光束照射该压印层，使压印层固化，

脱模，移走该模仁，

除去残留在该压印层凹下去部分的材料及对应于该凹下去部分的有机过 渡层，

将该有机过渡层所形成的图案转移至该感测材料层，及

去除该感测材料层表面的该压印层和有机过渡层的残余部分，得到具有预定 图案的感测薄膜。

2.如权利要求1所述的表面声波感测器制作方法，其特征在于，该感测材料 层为氧化锌、钯或二氧化锡。

3.如权利要求1所述的表面声波感测器制作方法，其特征在于，该压印层的 材料为紫外固化有机硅溶液。

4.如权利要求1所述的表面声波感测器制作方法，其特征在于，将该有机过 渡层所形成的图案转移至该感测材料层的方法为刻蚀方法或剥离方法。