[发明专利]湿制程系统及湿处理方法

权利要求书

1.一种湿处理系统，其包括第一喷液装置、第二喷液装置及传送装置，所述第一喷液装及第二喷液装置与传送装置相对设置，用以喷射液体至位于传送装置的待处理物体，其特征在于，所述湿处理系统进一步包括固持转向装置，所述固持转向装置与传送装置相对设置，并位于第一喷液装置与第二喷液装置之间，用于固持并转动经第一喷液装置处理的位于传送装置的待处理物体，以使经转动的待处理物体再由传送装置输送至第二喷液装置进行处理。

2.如权利要求1所述的湿处理系统，其特征在于，所述第一喷液装置、固持转向装置及第二喷液装置位于传送装置的同侧。

3.如权利要求2所述的湿处理系统，其特征在于，所述湿处理系统进一步包括与第一喷液装置、固持转向装置及第二喷液装置相对设置的储液槽。

4.如权利要求1所述的湿处理系统，其特征在于，所述第一喷液装置与第二喷液装置为蚀刻液喷液装置。

5.如权利要求1所述的湿处理系统，其特征在于，其进一步包括控制器，所述控制器分别与第一喷液装置、固持转向装置及第二喷液装置电气连通，用以分别控制第一喷液装置及第二喷液装置喷射液体以及控制固持转向装置固持并转动待处理物体。

6.如权利要求1所述的湿处理系统，其特征在于，所述固持转向装置包括转动伸缩部及与转动伸缩部相连的固持部，所述固持部在转动伸缩部的带动下，用于固持位于传送装置的待处理物体并转动。

7.如权利要求6所述的湿处理系统，其特征在于，所述固持部为吸附装置。

8.一种使用如权利要求1所述的湿处理系统的湿处理方法，其包括以下步骤：

所述第一喷液装置对位于传送装置的待处理物体进行第一次湿处理；

所述固持转向装置固持并转动经第一次湿处理后位于传送装置的待处理物体，进而将转动后的待处理物体再放置于传送装置；

所述第二喷液装置对转动后的位于传送装置的待处理物体进行第二次湿处理。

9.如权利要求8所述的湿处理方法，其特征在于，所述第一次湿处理与第二次湿处理均为蚀刻处理。

10.如权利要求9所述的湿处理方法，其特征在于，所述待处理物体具有第一图形区与第二图形区，所述第一图形区具有沿第一方向延伸的直线图形，所述第二图形区具有沿第二方向延伸的直线图形，当第一方向与传送装置的传送方向平行时，进行第一次湿处理，所述固持转向装置固持经第一次湿处理后位于传送装置的待处理物体并转动，以使转动后的第二方向与传送装置的传送方向平行，再进行第二次湿处理。