[发明专利]基板输送系统

权利要求书

1.一种基板输送系统，其包括第一传送装置与第二传送装置，所述 第一传送装置包括多个间隔分布的第一传送单元，用于将所述基板 沿第一传送方向输送，所述第二传送装置包括多个间隔分布的第二 传送单元，用于将所述基板沿第二传送方向输送，相邻两个第一传 送单元之间形成第一通道，相邻两个第二传送单元之间形成第二通 道，其特征在于，所述第一传送方向平行于第二传送方向，所述基 板输送系统还包括转移装置，所述转移装置包括升降装置及多根固 定于所述升降装置的承载件，所述升降装置相对于第一通道与第二 通道滑动设置，使得所述承载件可沿相应的第一通道与第二通道运 动，所述升降装置用于当所述承载件位于第一通道内预定位置时升 起所述承载件以举起在所述第一传送装置上输送的基板，及用于当 所述承载件位于第二通道内预定位置时降下所述承载件以将承载件 上的基板转移至第二传送装置上，所述第一传送装置包括两个相互 平行的第一支撑板，用于架设第一传送单元，所述第一支撑板设有 第一凹槽，所述第一凹槽与第一通道相连通，以供承载件穿过。

2.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，所述第二传送 装置包括两个相互平行的第二支撑板，用于架设第二传送单元，所 述第二支撑板包括多个间隔分布的第二支撑凸台，相邻两个第二支 撑凸台之间形成与所述第一凹槽相对应的第二凹槽，所述第二凹槽 与第二通道相连通。

3.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，所述第一传送 装置与第二传送装置均为滚轮式传送装置或者均为皮带式传送装 置。

4.如权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，所述第二传送 装置上设置有滑轨，所述转移装置滑动设置于所述滑轨。

5.如权利要求3所述的基板输送系统，其特征在于，所述升降装置 包括基座、驱动装置与升降板，所述基座滑动设置于滑轨，所述驱 动装置位于滑轨与第二传送单元之间，其一端设置于基座，另一端 与升降板相连，所述升降板在远离驱动装置的一端包括有多个收容 槽及位于相邻两个收容槽之间的固定凸台，所述收容槽用于收容第 二传送单元，所述承载件固定于固定凸台。