[发明专利]一种减薄划片废水的回用工艺和系统

权利要求书

1.一种减薄划片废水的回用工艺，其特征在于：首先将减薄划片废水经过过滤精度为50μm—100μm的精密过滤器，截留废水中的粗硅，当精密过滤器进出口压差达到0.1MPa，清洗滤元以恢复性能，并将精密过滤器底部的粗硅回收；然后将过滤后的水经过第一级超滤装置，产水作为深度脱盐装置进水，脱盐后供生产用水，浓水进入浓缩液水箱；经过第一级超滤装置处理后的浓水作为第二级超滤装置的进水，经过了第二级超滤装置的产水与第一级超滤装置的产水混合作为深度脱盐装置的进水，经过第二级超滤装置的浓水则回流至硅粉浓缩液水箱，循环浓缩；经过了深度脱盐后的废水排出到废水池内。

2.根据权利要求1所述的一种减薄划片废水的回用工艺，其特征在于：第一级超滤装置和第二级超滤装置均采用中空纤维膜构成；第一级的超滤装置的中空纤维膜组件采用错流过滤、频繁反洗的全自动连续运行方式；第二级超滤装置内的中空纤维组件采用全回流过滤的运行方式。

3.根据权利要求1或2所述的一种减薄划片废水的回用工艺，其特征在于：所述的深度脱盐采用混合离子交换床进行处理，处理的水的电阻率大于10MΩ·cm。

4.一种减薄划片废水的回用系统，包括废水收集池、超滤水箱和高纯水箱，其特征在于：在废水收集池后连接有精密过滤器，精密过滤器连接有第一级超滤装置，第一级超滤装置的清水口连接有深度脱盐装置，深度脱盐装置的清水口连接着高纯水箱，深度脱盐装置的浓水口连接着废水处理池；所述的第一级超滤装置的浓水口通过管道连接到第二级超滤装置，第二级超滤装置的清水口通过管道及高压泵与所述的深度除盐装置的进水口连接，第二级超滤浓水口与废水处理池连接。

5.根据权利要求4所述的一种减薄划片废水的回用系统，其特征在于：所述的深度脱盐装置采用两台填充阴阳离子交换树脂的混床，混床内衬为橡胶，外壁为钢结构。