[发明专利]珐珀加速度传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200810305382.3 | 申请日： | 2008-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN101424698A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 冉曾令;饶云江 | 申请（专利权）人： | 冉曾令 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所 | 代理人： | 蒲 敏 |
| 地址： | 610054四川省成都市建*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【权利要求1】法珀加速度传感器，包括光纤(1)或平面波导(5)，其特征在于：所述光纤(1)或平面波导(5)上有带膜片(2)的通孔式珐珀腔(3)。
【权利要求2】如权利要求1所述的法珀加速度传感器，其特征在于：所述膜片(2)上还有质量块(4)。
【权利要求3】如权利要求2所述的法珀加速度传感器，其特征在于：所述质量块(4)位于所述膜片(2)的上端。
【权利要求4】如权利要求2所述的法珀加速度传感器，其特征在于：所述质量块(4)位于所述膜片(2)的中部。
【权利要求5】如权利要求2所述的法珀加速度传感器，其特征在于：所述质量块(4)是2个，分别位于膜片(2)的两侧。
【权利要求6】如权利要求1所述的法珀加速度传感器，其特征在于：所述膜片(2)沿着光纤(1)或平面波导(5)的纵向截面积小于光纤(1)或平面波导(5)的纵向截面积。
【权利要求7】如权利要求1所述的法珀加速度传感器，其特征在于：所述通孔式珐珀腔(3)的腔长小于200微米。
【权利要求8】如权利要求1所述的法珀加速度传感器，其特征在于：所述膜片(2)的纵向截面图是距形。
【权利要求9】法珀加速度传感器的制造方法，其特征在于，该方法为：在所述光纤(1)或平面波导(5)上用带掩模板的激光加工一个带膜片(2)的通孔式珐珀腔(3)，就制成法珀加速度传感器。
【权利要求10】如权利要求9所述的法珀加速度传感器的制造方法，其特征在于，在所述膜片(2)上还加工有质量块(4)。
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